판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #9361634
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EatonEATON NOVA/AXCELIS NV 8250은 광전자, 광전자, 디스플레이, 화합물 반도체 및 기타 고전압 응용 프로그램을 위해 설계된 이온 임플랜터 및 모니터입니다. AXCELIS NV 8250 은 고급, 고정밀 임플란테이션 및 모니터링 장비로, 우수한 이온 소스 제어 및 프로세스 모니터링 기능을 제공합니다. 시스템의 주요 기능으로는 강력하고 통합 된 500kW 이온 소스, 고정 전자 빔 이온 소스, 고전류 이온 소스, 저전류 이온 소스, 혁신적인 음극 아크 이온 소스, 다양한 I/O 및 제어 기능. EATON NOVA NV 8250은 임플란테이션 및 모니터링의 예측 가능성, 반복 가능성 및 신뢰성을 고효율 이온 소스와 결합합니다. 큰 빔 전류 (beam current) 와 다양한 빔 에너지 (beam energy) 를 사용하여이 장치는 다양한 임플란테이션 및 모니터링 요구를 수용 할 수 있습니다. 표준 이온과 고류 임플란트를 모두 지원하며, 정밀 이식을 위해 매우 저전류 이온을 지원합니다. 이 기계는 가변 형상 이온 소스를 사용하여 임플란테이션의 매개변수에 대한 비교할 수없는 제어를 제공합니다. 여기에는 빔 전류, 빔 에너지 및 동적 온도 조절이 포함됩니다. 고급 소스 제어 (Advanced Source Control) 를 통해 이 툴은 매우 높은 수준의 일관성을 유지할 수 있으며, 이는 이식 프로세스의 품질에 큰 영향을 미칩니다. 또한 NV 8250은 임플란테이션 매개변수를 정확하게 제어하는 포괄적인 모니터링 및 제어 자산을 자랑합니다. 여기에는 다양한 I/O 및 제어 기능 (템플릿 기반 제어, 포맷 프로그램, 프로세스 매개변수 사용자 정의 기능 등) 이 포함됩니다. 이 모델은 또한 직관적 인 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 가있는 인체 공학적 콘솔 (ergonomic console) 을 갖추고 있어 작동이 매우 쉽습니다. EATON NOVA/AXCELIS NV 8250의 통합 진단 및 안전 기능은 최대의 안전 보장 및 프로세스 신뢰성을 제공합니다. 여기에는 비정상적인 샷의 자동 감지, 장비 오작동 방지 (Safety Interlock) 가 포함됩니다. 이 시스템은 또한 추적 가능성 및 품질 보증을 지원하기 위해 다양한 데이터 수집 (data collection) 기능을 갖추고 있습니다. 마지막으로 AXCELIS NV 8250 은 고객 서비스 및 지원 (Customer Service and Support) 의 우수성에 대한 약속으로 뒷받침되며, 필요에 따라 전담 기술 팀이 상담 및 문제 해결을 수행할 수 있습니다.
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