판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #293595700

EATON NOVA/AXCELIS NV 8250은 반도체 및 박막 처리에 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. 시스템은 이온 총과 전자 모니터로 구성됩니다. 이온 건 (ion gun) 은 일반적으로 붕소 또는 인성 (phosphorous) 의 이온 빔 (ion beam) 을 생성하는데, 이는 도펀트를 얇은 필름에 퇴적시키는 데 사용되는 반면, 전자 모니터는 결과 빔의 전류를 측정합니다. 이 장치의 작동 전압 범위는 6 ~ 12 keV이며 연속 또는 펄스 작동으로 작동 할 수 있습니다. 박막의 각도와 너비를 제어하는 디플렉터 (deflector) 와 박막의 도펀트 농도를 결정하기 위해 빔의 패러데이 (Faraday) 전류를 측정하는 패러데이 (Faraday) 발전기가 장착되어 있습니다. 또한, 이 기계는 내결함성이 높으며 자체 진단 (self-diagnostics) 기능을 통합하여 모든 오작동을 감지하여 빠르고 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 박막 (ZnS, TiN, SiC 등) 을 사용합니다. 소스 재료 (일반적으로 웨이퍼) 는 소스 홀더에 배치되며 크기, 두께, 기울기 (tilt) 에 맞게 조정할 수 있습니다. 빔 스팟 크기 (beam spot size), 전류 (current) 및 에너지 (energy) 와 같은 빔 매개변수를 조정할 수 있으며, 빔을 다른 각도로 편향하여 웨이퍼 표면의 균일 한 범위를 제공 할 수 있습니다. "이온 '광선 은 정전기" 렌즈' 배열 을 통하여 인도 되어 "빔 '반점 크기 를 미세 하게 조정 할 수 있게 한다. 이 자산에는 운영자 (Operator) 와 장비 (Equipment) 를 보호하는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 비정상이 감지되면 전원이 자동으로 꺼지는 긴급 플러싱 (Emergency Flushing) 장비가 포함되어 있습니다. 또한, 소스 홀더는 차폐 된 상자 (shielded box) 로 둘러싸여 운영자가 위험한 방사선에 노출되는 것을 줄입니다. AXCELIS NV 8250 은 고급 이온 임플랜터 (implanter) 및 모니터 시스템으로, 반도체 및 박막 처리를 위해 박막 (Thin film) 에 대해 정확하고 안정적인 도펀트 증착을 가능하게 합니다. 매우 조절 가능한 매개변수와 다양한 안전 (safety) 기능을 통해 운영자는 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.