판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 8250 #163113
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ID: 163113
Parts:
Source Assembly
Lined Arc Chamber Assembly
Source Housing Assembly
Extraction Electrode Assembly.
EATON NOVA/AXCELIS NV 8250은 다양한 반도체 장치의 고정밀 임플란트에 적합한 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이온 임플란터 (ion implanter) 는 입자 가속기의 한 유형으로, 실리콘 및 갈륨 비소와 같은 반도체 재료의 특성을 수정하도록 특별히 설계되었습니다. 이 구성 요소는 3 가지 주요 구성 요소 (이온 소스, 임플랜터 섹션 및 모니터 섹션) 로 구성됩니다. AXCELIS NV 8250 의 이온 소스는 기판 쪽으로 고 에너지 이온을 생성하고 가속하도록 설계되었습니다. 그것 은 정전기 "가속기 '에 기초 를 두고 있으며," 이온' "에너지 ', 용량율 및 기판 덮개 를 잘 조절 해 준다. 임플란터 (implanter) 섹션은 필요한 양의 이온을 기판에 전달하는 역할을 한다. 여기에는 이온 빔 플랫폼 (ion beam platform), 빔 라인 (beamline) 및 기판 홀더 (기판 홀더) 가 포함됩니다. 모니터 (Monitor) 섹션은 이온 임플란터에서 데이터를 모니터링 및 수집하며, 시스템의 계측 및 컴퓨터 시스템과 통합되어 정확성과 안정성을 보장합니다. EATON NOVA NV 8250은 대규모의 복잡한 기판을 매우 정확하고 균일하게 처리 할 수 있습니다. 고해상도 이미징 기능이 장착되어 있어, 이식 프로세스에 대한 시각적 피드백을 정확하게 확인할 수 있습니다. 또한 정밀도가 높은 나노미터 수준의 정확도를 갖추고 있어 이식 프로세스가 최고의 정확도 표준을 충족시킵니다 (영문). 또한, NV 8250은 장기간 전원 공급 장치 (long-endurance power supply) 로 기계를 구성할 수 있는 옵션으로, 지속적으로 작동하도록 설계되었습니다. EATON NOVA/AXCELIS NV 8250은 다양한 업계 표준 툴 및 소프트웨어 패키지와도 호환되므로 기존 툴 체인과 원활하게 통합할 수 있습니다. 또한, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 는 사용성을 단순하고 빠르게 만들고, 또한 고유한 장치와 형상에 대한 자체 임플란테이션 레시피를 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 이 장비에는 독특한 안전 패키지 (safety package) 가 있는데, 이 패키지는 장비와 근로자의 안전을 모두 보호하기 위해 설계되었습니다. 전반적으로 AXCELIS NV 8250 은 까다롭고 정밀도가 높은 이식 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 정교한 구성 요소와 고급 기능 (Advanced Function) 의 조합은 우수한 임플란테이션 성능과 최고 수준의 정확성을 보장하도록 설계되었습니다. 신뢰할 수 있고, 유연하며, 다용도의 기계로, 다양한 애플리케이션에서 가장 까다로운 이식 프로세스를 충족할 수 있도록 설계되었습니다.
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