판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 8200 #293660457

EATON EATON NOVA/AXCELIS NV 8200은 고급 반도체 장비 공급 업체 EATONAXCELIS의 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이 장비는 고품질 성능과 낮은 가동 중지 시간 (downtime) 을 모두 제공하여 반도체 생산에 이상적입니다. 1keV ~ 70keV 범위의 에너지에서 이온을 속도와 정확성으로 반도체 웨이퍼에 이온 이식 할 수 있습니다. AXCELIS NV 8200은 2 ~ 200mm의 다양한 웨이퍼 크기와 1 ~ 30 미크론의 여러 임플란트 직경을 처리 할 수있는 다목적 시스템입니다. 통합 된 3 챔버 (three-chamber) 장치는 웨이퍼를 효율적으로 로드하고 언로드할 수있는 반면, 고유 한 진단 세트는 수백 미크론의 해상도를 보장합니다. 또한 효율적인 웨이퍼 클리닝 (wafer cleaning) 을위한 빔 클렌저 (beam cleanser) 와 간편한 작동을위한 단순화 된 인터페이스 (interface) 가 특징입니다. EATON NOVA NV 8200에는 고유한 모니터링 기능이 제공됩니다. 여기에는 임플란트 공정의 정확성을 보장하기 위해 총 기계 용량 (machine dose) 및 고 에너지 용량 (high-energy dose) 측정이 포함됩니다. 이온 폭격으로 인한 잠재적 피해로부터 웨이퍼를 보호하기위한 모니터 (monitor) 도 갖추고 있습니다. 또한, NV 8200 은 다운타임을 최소화하는 툴의 문제를 예측하고 감지할 수 있는 일련의 장애 진단 (fault diagnostics) 을 제공합니다. EATON NOVA/AXCELIS NV 8200은 견고한 설계 및 구성으로 인해 장기적인 운영을 제공합니다. 기지는 무거운 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 안전한 작동을 보장하기 위해 추가 차폐로 강화되었습니다. 또한 수냉식 에셋을 사용하여 장기간 열을 효과적으로 소산합니다. 전반적으로 EATON AXCELIS NV 8200은 반도체 생산에 적합한 안정적이고 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 사용 편의성, 낮은 다운타임, 고품질 (HP) 성능으로 시장에서 가장 신뢰할 수 있는 시스템 중 하나가 되고 있습니다. 반도체 업계의 경우, EATON NOVA NV 8200은 이상적인 옵션으로, 생산 라인에서 필수품 (staple) 이 될 것입니다.