판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200AV #9411903

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200AV는 고급 집적 회로 및 기타 고정밀 고급 재료를 생산하기 위해 설계된 고급 Ionomer Implanter 및 Monitor입니다. 이 기계 는 높은 전류 밀도 에서 "이온 '을 기판 에 이식 할 수 있으며, 그 결과 입자 함정 을 방지 하는" 도핑' 과 저가스 '방출 이 가능 하다. 임플란터 (implanter) 는 반전 된 별 구성으로 배열 된 일련의 25 개의 고전압 셀을 사용하여 이온의 정확한 이동 및 제어를 허용합니다. 임플란터에는 전자 빔 (electron-beam) 진단 시스템이 포함되어 있어 임플랜터의 성능에 대한 실시간 결정을 허용합니다. 이 도구는 정확하고 정확하게 설계되었습니다. NovaAXCELIS NV 6200AV에는 최첨단 활성 모니터가 있으며, 이온 전류 (implantation doses, dose distributions, scan range 및 granularity) 와 함께 최적의 이식 조건에 대한 피드백 데이터를 제공합니다. 이 컨트롤 패널은 전원 공급 장치 안정화, 빠른 전압 램프, 빔 안정성 등 다양한 전원 기능을 제공합니다. 이를 통해 중요하지 않은 프로세스 창 내에서 정확한 이온 이식 (ion implantation) 을 가능하게하며, 입자 오염을 줄이고 칩의 기계적 안정성을 향상시킵니다. 이플란터는 또한 고전류, 다중 세그먼트 하중 코일 어셈블리를 특징으로합니다. 이 로 말미암아 각 "이온 '종 에 대해 정확 한 작용 을 하게 되며, 현재 의 농도 가 높은 동종" 이온 플럭스' 부위 를 만들어 낸다. "이온 '의 정확 한 제어 는 각 층 에서 필요 한 도펀트 농도 를 생성 하는 정확 한" 임플란트' 를 보장 해 준다. 임플란터에는 이식 조건에 맞게 조정하여 가장 좋은 투사 가능성을 보장하는 빔 포커싱 (beam-focusing) 시스템이 내장되어 있습니다. EATON NOVA NV 6200 AV는 신뢰할 수 있는 고급 Ionomer Implanter 및 모니터입니다. 정밀하고 균질한 이온 이식 (ion implantation) 을 보장하며, 전례없는 강력한 실시간 모니터를 통해 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 고정밀 IC 제조 및 고급 재료 제조 공정에 필수입니다.