판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9275794

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ID: 9275794
빈티지: 1990
Medium current implanter Missing and broken parts CTI CRYOGENICS 8500 Compressor Cryo-Torr 8 Cryo pump Dry pumps: EDWARDS QDP80 EDWARDS QDP40 + QMB250 Power supply: 200-208 V, 50/60 Hz, 6.6 kV, 3 Phase Process gas: BF3, PH3, AsH3 Power supply: 208 V, 70 A, 3 Phase 1990 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A는 Eaton Corporation에서 개발한 고급 이온 임플랜터 및 모니터 장비로, 신뢰할 수 있는 성능, 높은 처리량, 정확한 제어를 위해 업계 전문가들이 신뢰합니다. AXCELIS NV 6200A 디바이스는 RF 가 가능한 소스 (source) 와 이온을 정확하게 전달할 수 있는 구성 요소로 구성됩니다. 이를 통해 안정된 용량, 전류, 에너지로 쉽게 달성 할 수있는 높은 전류 밀도가 가능합니다. 또한 통합 스캐닝 기술, 다이오드 레이저 기술 및 PLB (Pulse Laser Beam) 를 통해 EATON NOVA NV-6200A는 스팟 크기 및 모양을 포함한 빔 특성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, NV-6200A는 특허를받은 DBC (Digital Beam Control) 시스템을 갖추고 있으며, 이는 조정 가능한 빔 전류를 제공하여 운영자가 최종 애플리케이션 요구 사항을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이것은 고급 소프트웨어 패키지와 결합되어 이온 빔 수차를 최소화하면서 최대 이온 사용률을 장려합니다. EATON NOVA NV 6200A는 특별한 기술이 없이도 뛰어난 재현성으로 일관성 있고 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 총에 이온을 충전 한 후, 이 장치는 웨이퍼 처리 및 임플란트 패턴화의 완전한 자동화를 위해 설계되었습니다. 고급형 이식 (implanting) 요구 사항이 있는 제조업체를 위한 경제적인 장치로 인식할 수 있습니다. 또한 AXCELIS NV-6200A 는 사용자 친화적이며 다양한 챔버 기능 및 환경 제어 (예: 저공해 펌핑 및 온도 조절) 를 제공합니다. 따라서, 이 기계는 Si, GaAs, InAs, 심지어 생물학적 재료와 같은 다양한 재료를 이식하는 데 적합합니다. NV 6200A 는 뛰어난 이온 임플란터 (ion implanter) 및 모니터 툴로서 경쟁력 있는 가격대에 이상적인 성능을 제공합니다. 조정 가능한 빔 전류 (beam current) 및 정교한 스캐닝 (scanning) 기술을 통해 사용자가 임플란트 패턴을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한, 이 자산은 신뢰할 수 있고, 자동화되고, 사용자 친화적이며, 뛰어난 재현성을 제공하여, 업계 전문가의 신뢰할 수 있는 선택이 됩니다.
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