판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9270103

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A는 안정적이고 반복 가능한 이식 프로세스와 빔 성능에 대한 일상적인 모니터링을 제공하기 위해 설계된 고성능 이온 임플랜터입니다. 이 머신은 견고하고 확장 가능한 아키텍처를 혁신적인 소프트웨어와 하드웨어와 결합하여 빔 전류 (beam current delivery) 를 최적화하고 높은 수준의 정확성, 효율성, 신뢰성을 제공합니다. AXCELIS NV 6200A 는 가장 작은 것부터 가장 큰 것까지 다양한 기능을 구현할 수 있습니다. 작동 전압 (30kV ~ 40kV) 과 사용자가 설정할 수 있는 전류, 용량, 임플란트 각도와 같은 다양한 작동 매개변수가 있습니다. 0.5% 의 정확도로 최대 1,200 암페어의 빔 전류를, 99% 이상의 듀티주기 기능을 제공 할 수 있습니다. EATON NOVA NV-6200A에는 이식 된 이온을 정확하고 반복적으로 제어 할 수있는 디지털 이온 빔 컨트롤러가 있습니다. 내장형 이미징 (Imaging) 장비로, 빔의 초점을 조정하고, 이식된 객체를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 모니터에는 고급 소프트웨어 제품군 (Advanced Software Suite) 이 있어 사용자가 빔의 성능을 실시간으로 모니터링하고 데이터를 보다 체계적이고 일관성 있게 기록할 수 있습니다. 이 기계는 또한 사용자가 정의한 매개변수에 따라 빔 전류 (beam current) 를 모니터링하고 자동으로 조정하는 자동화된 엔드 포인트 제어 시스템 (end-point control system) 을 제공합니다. 또한 종점 제어 장치 (End-Point Control Unit) 는 빔 전류 및 빔 형태를 지능적으로 최적화하여 미리 정의된 종점 대상을 달성합니다. NV-6200A (NV-6200A) 는 또한 하중 잠금 챔버 (load lock chamber) 에서 가스의 온도를 진정시키고 유지하는 통합 온도 조절 기계를 갖추고 있습니다. 이는 이식 중 객체 왜곡을 최소화하고 안정적인 이식 프로세스를 보장하는 데 도움이됩니다. EATON NOVA/AXCELIS NV-6200A 에는 전체 부품 인벤토리 (inventory of spare part) 와 다양한 서비스 옵션이 포함되어 있어 사용자가 툴 수명을 극대화할 수 있습니다. 이것 은 예방 정비 "서비스 '로부터 먼지 와 파편 의 축적 을 막기 위한" 오븐 리인딩' 에 이르기 까지 다양 하다. 마지막으로 EATON NOVA NV 6200A는 최대한의 안전을 위해 설계되었습니다. 스테인레스 (Stainless) 로 밀폐되어 있으며, 잠재적 인 사고를 방지하는 고급 안전 자산이 장착되어 있습니다. 또한 빔이 움직일 때 연산자에게 경고하는 모션 센서 (motion sensor) 와 무단 액세스를 방지하기 위해 레이저 보조 안전 잠금 (laser-assisted safety lockout) 이 특징입니다.