판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200 #9266104

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200은 다양한 이온 이식 이식 및 도핑 장비를 설계 및 생산하는 전문 반도체 부품 회사 인 이튼 코퍼레이션 (Eaton Corporation) 이 개발 및 제조 한 이온 임플랜터 및 모니터입니다. AXCELIS NV 6200 은 "이온 '의 활기 있는 광선 을 사용 하여" 갈륨', 붕소 또는 인 과 같은 도펀트 원자 를 "트랜지스터 ', 집적 회로 및 기타 형태 의" 마이크로 일렉트로닉' 장치 의 기초 를 이루는 물질 층 에 이식 시킨다. 그것 은 "도판트 '" 이온' 의 연속적 인 출력 을 공급 하여 재료 에 원하는 "도핑 '" 프로파일' 을 정확 하게 만든다. 이온 임플랜터 (Ion Implanter) 장치에는 출력을 빠르고 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있는 제어 시스템이 있습니다. 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 모드로 실행할 수 있으며, 운영자는 에너지, 빔 전류, 건 전압, 챔버 압력 등과 같은 모든 매개변수를 설정할 수 있습니다. EATON NOVA NV 6200은 매우 효율적이며, 중단 없이 24시간까지 장기간 작동할 수 있습니다. 이 기계는 실리콘 (Silicon), III-V 화합물 및 다층 기판을 포함한 수십 가지 물질로 임플란트 속도를 측정합니다. NV 6200 은 일련의 안전 시스템을 갖추고 있어, 운영자들은 폭발성 물질이나 독성 물질을 걱정할 필요가 없습니다. 모든 표준 안전 프로토콜은 디바이스에서 작동합니다. EATON NOVA/AXCELIS NV 6200은 로드 잠금 (Load Lock), 가변 축 스캐너 (Variable Axis Scanner), 대칭 임플란트 (Symmetric Implant) 및 빔 셰이핑 (Beam Shaping) 과 같은 다양한 옵션을 지원할 수 있습니다. 모니터 시스템은 모든 매개변수 (parameter) 를 측정하고 개별 컴포넌트 간의 추적 (traceability) 을 지원하여 모든 매개변수가 안전하게 충족되도록 오류를 표시할 수 있습니다. AXCELIS NV 6200은 마이크로 전자 장치를 제조하는 데 사용되는 사전 리소그래피 프로세스의 필수 도구입니다. 정밀한 제어와 신뢰성을 지속적으로 실행할 수 있는 능력과 결합한 "신뢰성 '은" 신뢰성' 과 "재현 '이 필요한 생산라인을 위한 필수불가결한 장치' 다. 완전 자동화 모니터링 시스템 (Fully Automated Monitoring System) 은 프로세스 전반에 걸쳐 결과의 정확성과 일관성을 보장하여 생산량을 높이고 제조 효율성을 높여줍니다.