판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 1060 #9013660

EATON NOVA/AXCELIS NV 1060은 반도체 제조 공정에서 이온의 증착을 정확하게 제어하는 데 사용되는 이온 임플란터 및 모니터입니다. AXCELIS NV 1060 (AXCELIS NV 1060) 은 혁신적이지만 단순한 설계로, 다른 유형의 임플랜터보다 이온의 증착을 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. EATON NOVA NV 1060은 다른 위치로 이동할 수있는 레일에 장착 된 포탑 (turret) 어셈블리로 구성됩니다. 포탑에는 2 개의 이온 소스 (저전류 1 개, 고전류 1 개) 와 이온 소스의 전압 및 전력 수준을위한 제어 시스템이 있습니다. 또한 "터렛 '에는" 이온' 원 에 대한 피드백 을 제공 하는 자력계 가 들어 있어 그 정확성 과 일관성 을 보장 해 준다. NV 1060은 무선 주파수 스퍼터링 기술을 사용하여 이온을 기판에 배치합니다. 전압 (Voltage) 및 다른 매개변수 (Parameter) 에 따라 다양한 용량을 생산하여 응용 프로그램의 특정 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS NV 1060은 최대 5 AM의 용량을 제공 할 수 있으며, 다른 유형의 임플랜터는 단지 100kV에 도달 할 수 있습니다. AXCELIS NV 1060 은 이식 프로세스 진행을 추적하기 위해 호스트 컴퓨터로 지속적으로 데이터를 전송하는 자동 모니터링 시스템 (automated monitoring system) 을 갖추고 있습니다. 이 데이터는 이온 용량이 일관성을 보장하기 위해 분석 될 수 있습니다. EATON NOVA NV 1060에는 다양한 보호 기능이 내장되어 있어 과전압 (over-voltage) 및 예민한 부품이 손상될 수 있는 기타 상태를 보호합니다. 또한 NV 1060 은 터치스크린과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 각 이식 프로세스를 신속하게 변경하고 조정할 수 있습니다. 이 인터페이스는 임플란테이션 프로세스 (implantation process) 의 진행 상황을 표시하고 사용자가 임플란테이션 프로그램의 모든 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있는 그래프와 차트 (chart) 를 표시할 수 있습니다. 전반적으로 EATON NOVA/AXCELIS NV 1060은 정확성, 제어 및 사용자 친화성을 위해 설계된 강력하고 안정적인 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 다재다능성과 내구성이 "장기간 일관되고 신뢰성 있는 '정확한 증착율이 요구되는 반도체 (반도체) 제조업체에게는" 인기 있는' 선택이었다.