판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 10 #9036797

EATON NOVA/AXCELIS NV 10은 반도체 장치 제조를위한 고성능 이온 임플랜터이자 모니터입니다. 이 제품은 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링하고, 정밀도가 매우 높은 개별 이온을 임플란트 (implant) 하도록 설계된 고급 분석 플랫폼입니다. 최첨단 기능, 내장형 제어 기능을 통해 운영자는 일관성 있는 이식 프로세스를 신속하게 설정하고 유지할 수 있습니다. 또한, 이식 된 이온, 주파수, 농도 및 분포에 대한 즉석 분석을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. AXCELIS NV 10의 주요 구성 요소에는 임플란트 헤드를 움직이는 정확하게 제어, 고정밀, 3축 선형 모터 플랫폼이 포함되어 있어 매우 높은 정확도와 해상도를 제공합니다. 공정 결과의 검증을 위해 이온 임플란테이션 속도, 빔 스팟 크기, 이온 질량 및 에너지를 측정하기위한 능동 분석 챔버 (active analysis chamber) 가 장착되어 있습니다. 피드 백 (feed-back) 장비는 다양한 조건에서 이식 프로세스를 일정하게 유지하는 데 도움이됩니다. EATON NOVA NV 10 (EATON NOVA NV 10) 에는 샘플과 관련하여 임플란트 헤드의 상대 위치 변경을 모니터링하고 기록하는 다양한 고급 기능이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 정확성과 재현성을 최적화할 수 있습니다. 또한 속도, 빔 스팟 크기, 이온 질량 및 에너지를 구현하는 이온의 실시간 측정을 제공하는 이온 측정 시스템이 포함되어 있습니다. NV 10 은 자동화된 Wafer 처리 장치를 통해 여러 Wafer 를 빠르고 효율적으로 구현하여 처리량을 향상시킵니다. 자동화된 머신은 최대 4 개의 웨이퍼 카세트를 지원하며, 프로세스를 중단하지 않고 신속하게 또는 작업 중에 임플란트 샘플을 변경할 수 있습니다. 전반적으로 EATON NOVA/AXCELIS NV 10은 매우 강력하고 정확한 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이식 공구 (implanting tool) 와 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 안정적이고 정확하게 제어해야 하는 어려운 프로세스를 위해 설계되었습니다. 자산은 사용하기 쉽고, 임플랜팅 (implanting) 프로세스의 탁월한 정확성과 안정성을 제공하여, 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.