판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9210440
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판매
ID: 9210440
웨이퍼 크기: 6"
Ion implanter, 6"
Energy: 160 keV
(17) Batch wafers
Utility configuration:
Tool specification:
Line power:
Input power: 208VAC, 3 Phase, 60Hz, 130A, 42kVA
Output power: 160KeV, 20mA
Utility gas:
Name / Connection type / Size
CDA / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Ar / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
PN2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
GN2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Gas box N2 / SWAGELOK / 3/8” SUS Male
Exhaust:
Qty / Description / Type / Flow rate (CFM) / Size / Exhaust hood
(2) / Environments / GEX / 500 / 4", PVC / Y
(1) / Cryo pump / SEX / 40 / 1", SUS / Y
(2) / Gas cabinets / SEX / 600 / 2", PVC / Y
(2) / RP Exhausts / SEX / 100 / KF-40, Clamp / Y
Cooling water:
Description / Pressure (PSI) / Flow rate (GPM) / Temperature (°C) / Size
City water / 100 / 20 / 25 / 1", SUS, Clamp
DI Water refill / Manual / Manual / - / 1", PVC, Clamp
System configuration:
End station module:
Notch / Flat finder: Flat
Cassette type: Standard
Dummy cassette
Load buffer
Vacuum cassette
(4) Cassette tables
Cell controller
Loadlock type: GSD100/200
Process module:
Disk: NV-GSD
In-vac arm
Wafer holder
Pedestal
Gyro: NV-GSD-100
Linear drive
Belt drive
Beamline type: GSD 200
Maximum extraction voltage: 160KeV
AMU: Axcelis
Source module:
Source head: IAS
Filament PS: EMI EMS 10-60
Arc PS: EMI EMS 150-7
Source magnet PS: EMI EMS 40-25
Source bushing
Source injection: MKS 1640
Vacuum system:
P1 / Source turbo: STP-A2000C
P2 / Resolving cryo pump: CTI
P3 / V3 Cryo pump: CTI
(3) Ground bars
Sub-systems:
NESLAB HX-150
CTI 8300/8500
1994-1995 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD는 높은 처리량 이온 임플란테이션 어플리케이션을 위해 설계된 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 그것 은 "반도체 ', 도자기, 박막 등 여러 가지 재료 를 처리 하는 데 사용 될 수 있다. 이 장치는 독점 소프트웨어 패키지 인 AXCELIS GSD Implantation Software에서 실행되므로 유연하고 최적화된 프로세스 제어가 가능합니다. 이식 과정은 고 에너지 전달이 가능한 디오 데군 (Diodegun) 에 의해 가속화되며, 12 방향 빔라인으로 인해 여러 임플란트 종/에너지가 독립적으로 사용될 수 있습니다. 410mm 제곱 웨이퍼 척 및 고정 챔버 아키텍처를 통해 높은 처리량을 제공합니다. 프로세스는 이온 전류, 압력, 온도, 가스 흐름 및 웨이퍼 위치를 측정하는 다양한 센서로 모니터링됩니다. 이 장치는 또한 고급 진단 및 피드백 (feedback) 제어 시스템을 통합하여 중요한 프로세스 매개변수를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한, 이식 후 검토 및 프로세스 최적화를 위한 분석 도구가 소프트웨어 패키지의 일부로 포함됩니다. EATON NOVA GSD 지능형 제어 시스템은 임플란테이션을 최적화하여 주기 시간을 줄이고, 총 비용을 최소화하고, 최고 수준의 임플란테이션 정확도를 보장합니다. 이 장치는 프로세스 작업 중 안전성을 보장하기 위해 안전 연동 (Safety Interlock) 및 누출 감지 (Leak Detection) 경보를 포함한 여러 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 모듈식 레이아웃을 통해 쉽게 설치, 운영 및 유지 관리할 수 있습니다. 이 다목적 시스템은 의료 기기, 항공 우주 및 자동차 부품, 연구 및 개발 목적으로, 산업 시장에서 사용됩니다. R&D 작업과 대용량 제조 모두에 적합한 플랫폼을 제공합니다.
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