판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9201110

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ID: 9201110
Ion implanter Currently crated.
EATON NOVA/AXCELIS GSD는 최신 반도체 프로세스와 작동하도록 개발 된 고급 이온 임플랜터입니다. 최신 기능을 갖추고 있으며, 업계의 다양한 용도로 사용할 수 있습니다. 이온 임플란테이션 (Ion Implantation) 기술 분야의 혁신으로, 고성능, 신뢰성 및 다용성을 제공하도록 설계되었습니다. AXCELIS GSD 는 고급 진공 장비 (advanced vacuum equipment) 를 이온의 원천으로 사용하며, 임플랜터 모듈은 이온 빔을 생성하여 도펀트와 이온을 기판에 도입합니다. 도펀트 (dopant) 는 반도체의 전도성을 높여 더 효율적으로 작동 할 수 있도록 도와줍니다. 이온소스 (예: 이중 빔라인 구성) 와 다른 결과물 매개변수를 통해 쉽게 구성할 수 있으며, 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 또한 EATON NOVA GSD는 시스템 성능을 정기적으로 평가하는 임베디드 소프트웨어 모니터를 갖추고 있습니다. 모니터는 임플랜터 (implanter) 에 대한 원격 액세스를 허용하므로 운영자가 장비의 상태 및 안전을 모니터링할 수 있습니다. 또한, 전자 데이터 관리 장치 (Electronic Data Management Unit) 를 사용하면 NAS (Network-Attached Hard-Drive) 를 통해 데이터를 저장하고 필요할 때마다 쉽게 액세스할 수 있습니다. GSD는 또한 레이저 정렬을 위해 통합 모듈로 설계되었습니다. 복잡한 웨이퍼 (wafer) 패턴을 위한 뛰어난 빔 컨트롤을 제공하여 오류 수가 적을수록 정확하고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 그 에 더하여, 연산자 들 이 금 이나 "티타늄 '과 같은 매우 얇은 물질 층 을" 웨이퍼' 표면 에 침착 시킬 수 있게 해 준다. 이 기술은 도핑 과정의 균일성을 향상시킵니다. 또한, EATON NOVA/AXCELIS GSD는 또한 안전 머신으로 설계되어 운영자에게 잠재적 인 문제를 경고합니다. 그것 은 "이온 '광선 이 위험 한 상황 에 직면 하게 되면 정지 시키고 격리 시켜, 장비 와" 오퍼레이터' 가 모두 해 를 입지 않도록 보호 해 준다. 이 도구에는 운영자의 위험 (risk) 과 위험 (hazard) 을 줄이는 통합 안전 경비원 (safety guard) 이 있으며, 정밀하게 필요한 작업을 수행 할 수 있습니다. AXCELIS GSD는 전반적으로 최첨단 이온 임플란터 및 모니터입니다. 사용자 친화적이며, 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 반도체 처리 환경에 도움이 될 수 있는, 매우 안정적이고 다양한 기술입니다.
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