판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD #9115127

EATON NOVA/AXCELIS GSD는 이온을 기판 물질로 이식하는 데 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 그것 은 "이온 '원 과 기판 재료 를 배치 하고 이식 하는" 엔드스테이션' 으로 이루어져 있다. 이온 이식 과정 (ion implantation process) 은 물질 내 분자에 전하를 도입하고, 물질 요소와 화합물을 기질 물질에 도입함으로써 기질 물질의 특성을 변화시키는 데 사용된다. AXCELIS GSD는 열 증발기, 호 소스 및 티타늄 승화기를 이온 소스로, 그리고 수소 중성 질량 (Hydrogen Neutral Mass) 분광기를 사용하여 샘플 물질에 이식 된 이온을 감지하고 모니터링합니다. 이식 영역의 지름은 구성 제어 기능 (configuration control feature) 을 사용하여 제어 할 수 있으며, 기판 재료 전체에 걸쳐 이온의 균일 한 이온을 제공합니다. EATON NOVA GSD는 또한 이식 매개 변수를 원격 제어할 수있는 확장 제어 장비를 갖추고 있습니다. 이를 통해 운영자는 원격 위치에서 프로세스를 면밀히 모니터링 할 수 있습니다. 제어 시스템은 또한 이온 빔 (ion beam) 을 정밀하게 제어하여 이식 매개변수의 정확성을 보장합니다. GSD 는 제어 장치 확장 (Extending the Control Unit) 과 더불어, 이식 과정 중 에 안전 한 대기 를 보장 하는 데 사용 되는 냉방 장치 와 같은 안전 기능 도 포함 시켰다. 이 도구 는 또한, 기판 물질 에 오염 될 위험성 을 감소 시켜, 착상 과정 에 최적 된 환경 을 제공 한다. EATON NOVA/AXCELIS GSD는 반도체 업계에서 제조 공정에 사용되는 기판 재료의 특성을 변경하기 위해 사용되었습니다. 또한 의료 및 항공 우주 산업 에서 "이온 '을" 이온' 에 이식 하여 강도 를 향상 시키거나 전기 또는 열 절연 특성 을 도입 하는 데 사용 된다. 또한, AXCELIS GSD 모니터는 과학 연구에서 이온 이식 (ion implantation) 이 특정 물질에 미치는 영향을 분석하는 도구로 사용됩니다. 전반적으로, EATON NOVA GSD는 혁신적이고 강력한 이온 임플란터이며, 이온을 다양한 기판 물질로 이식하는 데 사용되는 모니터입니다. 정밀 제어 시스템 (Precision Control System) 을 통해 매우 정밀한 이식 프로세스를 제공하며, 안전하고 성공적인 프로세스를 보장하는 데 필요한 모든 안전 (Safety) 기능이 있습니다. GSD는 광범위한 응용프로그램 (application) 과 기능으로, 산업과 연구실에는 귀중한 도구다.