판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD UHD #9094928

EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD는 Eaton Corp.에서 개발 한 초고속 용량 이온 임플란터/모니터입니다. AXCELIS GSD UHD는 Eaton의 혁신적이고 입증 된 최신 Bose 소스 기술 및 현재 iHose를 기반으로 제작되었습니다. EATON NOVA GSD UHD는 이온 임플랜터와 모니터를 모두 갖추고 있으며, 저에너지 및 고에너지 임플란트에 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. GSD UHD는 고 에너지 이온 이식 이식의 용량, 전류 및 빔 프로파일을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 현재 디바이스 기술의 정확한 요구 사항을 충족하도록 이온 이식 (ion implanting) 프로세스를 정확하게 사용자 정의할 수 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD 모니터는 이온 빔 전류 (ion beam current) 판독량뿐만 아니라 그 위치도 지속적으로 모니터링합니다. 결합된 AXCELIS GSD UHD Implanter 및 Monitor 시스템은 사용자가 이식 매개 변수에 대한 최고의 정확성과 제어를 제공합니다. EATON NOVA GSD UHD 이온 임플란터에는 혁신적인 고전류 소스가 장착되어 있으며, 이온 에너지에서 최대 3keV 이상의 빔 전류 기능을 제공합니다. 이렇게 하면, 정밀도 와 반복성 이 가장 높은, 다양 한 기판 과 장치 를 정확 하고 정확 하게 처리 할 수 있다. GSD UHD 임플란터는 또한 광범위한 가스 및 엔드 스테이션 옵션을 가지고 있으며, 이를 통해 사용자는 전자 빔 열 처리, 질화물 및 산화물 필름 스택 혼합, 기질 연금을 할 수 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS GSD UHD 모니터는 내장된 고해상도 다중 채널 신호 프로세서로 중요한 처리 매개변수에 대한 실시간 액세스를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 이식 중 빔 전류, 빔 프로파일 및 빔 에너지를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 이식 매개 변수에 대한 사후 분석을 위해 용량 균일성 (dose uniformity), 총 용량 전달 (total dose delivered) 및 이온 전류 (ion current) 와 같은 중요한 정보를 사용자에게 제공합니다. AXCELIS GSD UHD (UHD) ION Implanter and Monitor 시스템은 시중에서 가장 안정적이고 정밀한 이온 이식 임플란테이션 성능을 제공하는 제품으로, 오늘날 가장 향상된 처리 요구 사항을 위한 경제적인 솔루션을 제공합니다. 강력한 기능 세트를 갖춘 EATON NOVA GSD UHD는 최고의 내장 임플랜터 및 모니터 시스템을 나타냅니다.