판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD-HE #9262470

EATON NOVA/AXCELIS GSD-HE는 이온화 입자를 반도체, MEMS 및 기타 전자 장치 제조와 같은 다양한 응용을위한 기판으로 이온화/스퍼터링하는 데 사용되는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. Eaton 과 AXCELIS 의 가장 우수한 기능을 다용도 및 효율적인 장치로 결합한 제품입니다 (영문). AXCELIS GSD HE는 전자기 렌즈를 사용하여 이온화 입자를 기판에 정확하게 전달합니다. 이를 통해 장치가 이온을 정확하게 전달하고 에너지 수준을 제어 할 수 있습니다. 또한 6 단계 고전압 피드를 사용하여 특정 응용 프로그램 요구 사항에 대한 이온 용량을 구성하고 제어합니다. 이 장치는 조이스틱 컨트롤러 (joystick controller) 와 3 레벨 디스플레이 장비로 설계되어 임플란트 및 모니터 매개변수를 쉽게 제어합니다. EATON NOVA GSD/HE는 최적의 온도 안정성을 위해 온도 조절 진공 시스템, 미세 조정 각도 조정을위한 AOI (Aon of Incidence) 장치, 어플리케이션에 따라 선택할 다양한 이온 소스 구성 등 다양한 기능을 제공합니다. 다른 기능으로는 이온 전류 모니터, 이온 에너지 모니터, 기판 온도 모니터, 산소 센서 및 빔 위치 정렬 기계가 있습니다. 또한 EATON NOVA/AXCELIS GSD/HE는 정교한 플라즈마 제어 도구를 사용하여 임플란트 균일성과 재생성을 극대화합니다. 또한 다양한 매개변수를 모니터링하고 프로세스 효율성을 최적화하는 멀티 채널 신호 프로세서 (Multi-Channel Signal Processor) 뿐만 아니라, 최적의 진공 상태를 달성하는 가스 분사 에셋 (Gas Injection Asset) 도 갖추고 있습니다. 연속적이고 일관된 프로세스를 보장하기 위해 EATON NOVA GSD HE에는 컴퓨터 데이터 획득 모델, 전원 공급 장치, 전원 모니터, 입자 속도 및 에너지 정보를 감지 할 수있는 펄스 높이 분석기 (pulse-height analyzer) 등 여러 회로가 장착되어 있습니다. 전반적으로 EATON NOVA GSD-HE는 임플란테이션/스퍼터링의 정확성과 정확성을 제공하는 신뢰할 수 있고 다양한 장치입니다. 반도체 제조 (Semiconductor Manufacturing) 에서 MEMS (MEMS), 기타 전자 기기 제조 (Electronic Device Manufacturing) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 강력한 기능을 갖춘 GSD-HE를 사용하면 제품의 생산성, 효율성, 균일성을 향상시킬 수 있습니다.