판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293799374

EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2
ID: 293799374
Ion implanter.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2는 Eaton Corporation에서 만든 고성능 이온 임플랜터 및 모니터로, 집적 회로의 반도체 대량 생산에 사용됩니다. 이 기계는 빔 가속 전압 (최대 325kV) 을 갖춘 고급 전자총을 장착했다. 발전기는 또한 개선 된 빔 포커싱 시스템 (beam focusing system) 을 갖추고 있으며, 웨이퍼 전체에 더 균일 한 이온 분포를 생산합니다. 또한, 이온 모니터 (ion monitor) 에는 모든 이식 매개변수를 동시에 모니터링할 수있는 이중 토플레벨 (toplevel) 배열이 있어 엔지니어가 이식 프로세스를 실시간으로 제어할 수 있습니다. 이 기계는 단면 또는 양면 임플란트를 생산할 수 있으며, 더 나은 정확도와 안정성으로 더 복잡한 칩 (chip) 디자인을 만들 수 있습니다. 다운타임을 최소화하면서 저렴한 비용으로 고품질 제품을 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 단면 및 양면 임플란트에서 전통적인 임플란터보다 2 ~ 6 배 빠른 이식 속도를 제공합니다. AXCELIS GSD 200E-2 는 안전하게 작동할 수 있도록 여러 가지 안전 기능을 내장하고 있습니다. 이러한 기능에는 자동 종료 (automatic shut off) 및 가청 경보 (audible alarm) 가 포함되어 있습니다. 또한, 이 장치에는 소프트웨어 패키지에 포함된 혁신적인 모니터링 시스템 (innovative monitoring system) 이 있으며, 이 시스템은 제조 공정을 최적화하기 위해 이식 프로세스와 관련된 데이터를 기록합니다. Eaton의 NovaEATON NOVA GSD 200 E2는 높은 수준의 성능과 안전 기능으로 인해 산업 규모의 반도체 생산에 인기있는 선택이되었습니다. 이 기계 는 대부분 의 전통적 인 "임플란터 '의 출력 을 초과 하는 속도 로 정확 하고 믿을 만한" 임플란트' 를 생산 할 수 있다. 또한, 장치 모니터링 시스템 (monitoring system) 을 통해 운영자는 이식 프로세스에 대한 실시간 피드백을 가질 수 있으며, 필요에 따라 조정하여 결과를 개선하고 오류 발생 가능성을 최소화할 수 있습니다. 이 기계는 대규모, 복잡한 집적회로 (integrated circuit) 를 표현해야 하는 모든 생산 라인에 대한 훌륭한 자산입니다.
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