판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #293721217
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Eaton-Nova EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 고정밀도, 고성능 이온 임플란터로, 반도체 및 고급 전자 프로세스 제어에 이상적입니다. 광범위한 빔, 밀봉 된 오프 코드 및 2 단계 가스 주입 장비를 갖춘 200keV, 500W 이온 빔 소스를 갖추고 있습니다. 또한 정밀 모니터와 디지털 인터페이스도 포함되어 있습니다. AXCELIS GSD 200E-2는 붕소, 비소, 인, 플루오린 및 갈륨 등 다양한 공정 가스로 작동 할 수 있습니다. 그것 은 여러 가지 "빔 '과" 기판' 재료 의 선택 을 통해 여러 가지 공정 조절 작업 에 이상적 이다. 고밀도 및 고속 집적회로 (IC), 고온 및 방사선 내성 부품, 기타 고급 전자 재료를 위한 반도체 재료를 처리할 때 사용할 수 있습니다. EATON NOVA GSD 200 E2에는 고해상도 디지털 모니터를 포함한 강력한 제어 시스템도 있습니다. 이를 통해 이온 빔 매개변수 (ion beam parameters) 와 용량 (dose) 을 정확하게 제어하고 이온 빔 강도를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한, 디지털 인터페이스는 장치의 설정 및 제어를 훨씬 쉽게 합니다. 안전성 측면에서 AXCELIS GSD 200 E2 는 여러 가지 기능을 통해 사용자 보호를 보장합니다. 에르메틱 밀봉 된 오프 코드, 이온 소스의 이중 레이어 절연, 자동 차단 머신 등이 포함됩니다. 또한 수많은 차폐 (shielding) 구조와 필터를 사용하여 사용자의 방사선 보호 (radiation protection) 를 향상시킵니다. EATON NOVA GSD 200E-2는 효율적이고 신뢰성 있는 이온 임플랜터이며, 다양한 프로세스 제어 작업에 적합한 모니터입니다. 이온 빔 (ion beam) 매개변수와 용량에 대한 정확한 제어 및 강력한 안전 도구를 제공합니다. 신뢰할 수 있는, 고품질 이온 임플랜터와 모니터를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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