판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E2 #14146
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EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E2는 반도체 생산을위한 고급 이온 임플랜터 및 모니터 시스템입니다. 단일 엔드, 디지털 제어, 중간 전류 진동 빔 유형의 전자 빔 이온 임플란터이며, 이온 임플란테이션 및 인사이트 모니터링 작업 모두에 적합합니다. AXCELIS GSD 200E-2는 종합적인 설정 범위를 사용하여 반도체 재료에 이식 될 이온 용량을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 "이온 '을 이식하는 데 사용 되는 전자" 빔' 의 위치 와 모양 을 정밀 하게 조절 하여 "이온 '착상 과정 을 더 세밀 하게 조정 할 수 있다. 또한 EATON NOVA GSD 200 E2는 다양한 감도와 매개 변수를 갖춘 통합 현장 모니터링 시스템을 제공합니다. 이를 통해 이온 이식 모니터링이 정확하고 정확해질 수 있습니다. 모니터링 시스템은 또한 반도체 재료의 오염과 같은 너무 많은 이온 (ion) 및 다른 효과 (effections) 의 이식을 방지하기위한 자동 안전 기능을 가지고 있습니다. 장비의 적절한 작동을 보장하기 위해 EATON NOVA GSD 200E2는 직접 및 원격 제어 옵션으로 설계되었습니다. 이를 통해 엔지니어는 콘솔 (console) 이나 별도의 컴퓨터 워크스테이션에서 장비를 제어하여 유연성과 편리함을 높일 수 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS GSD 200 E2는 데이터 로깅 및 분석을위한 여러 진단 기능과 옵션도 제공합니다. 이를 통해 엔지니어는 이온 이식 (ion implantation) 과정에서 발생할 수 있는 문제를 보다 빠르고 정확하게 파악하고 문제를 해결할 수 있습니다. 전반적으로, GSD 200E-2는 정교하고, 안정적이며, 효율이 높은 이온 임플란터이며, 하이테크 반도체 생산의 요구에 대한 정확성과 신뢰성을 제공합니다.
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