판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200E #9209411
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9209411
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Implanter, 8"
Upgrade kit from 80 KeV to 160 KeV
Parts included:
P/N / Description
2200109 / Hvps dual output -5kv glassman (mnl 8101410)
- / Red housing, nv-gsd-200e, rated for 160 kv operation
1204990 / Arc power supply mod nv20a
1204990 / Arc power supply mod nv20a
1204990 / Arc power supply mod nv20a
1199240 / Dis 58900 fld rpl only disk faraday assy gsd-200
17335010 / (2) Ground electrodes
17021871 / (2) Aperture vgi electron showers
3100353 / Pump turbo tmp 1000c 250 1so-k/kf40
3100353 / Pump turbo tmp 1000c 250 1so-k/kf40
- / Module controller turbo pump scu-1000c
2200114 / Hvps – 5kv 20 ma del elect
1190160 / Plasma shower gun assembly
17121720 / Graphite shield e-shower
17335030 / Ground electrode
1141471 / Faraday flag assy vitreous graphite
1181490 / Sce rgh valve v8
3500087 / O-ring -216 buna
17C5290 / Mo knob bolt
17C2983 / Set screw molybdenium
17D6405 / Cathode electrode
1766531 / Plt burn thru (vt1)
17E9560 / Feed through bracket
17E9561 / Bracket
3500496 / O-ring -208 viton
5000132 / Stdf 3/8lx3/8x6-32 rnd cer hhs
17121850 / Repeller insulator
17304680 / Shower tube aperture ii pef-xe gsdiii/led
17067300 / Cover terminal
17100170 / Corona ring
1710831 / Cover, terminal box
17071160 / Cover, terminal plate
17067720 / Cover plate, (3) screws
17081180 / Cover
17068520 / (2) Brackets, angled
17071130 / Cover, red box
17071140 / Cover, red box
17074820 / (2) Covers, flexs
17022381 / (5) Shim insul 1/16 terms nv20
17072382 / (2) Shim insul 1/32 terms nv20
E17022380 / (2) Shim insulator terminals
4001587 / (2) Knob four arms clamping 5/16-18 unc
1199850 / Terminal exh kit
17051500 / Rp1 exhaust kit
1185620 / Terminal exh kit
1837180 / Alignment tools els
1833870 / Alignment tools els
17244920 / (3) Cover lower plasmas
17249760 / (2) Cover upper plasma showers
- / Scu-1000c turbo pump controller
17D1284 / (2) Nozzle retainers
11032780 / (3) Assy src housing sprt flag shields 11b3641
17150050 / Supp rack
17063520 / (2) Supp racks
17095870 / (2) Supp racks
17120370 / Supp rack
17091650 / (3) Supp racks
TUBE / (4) Supp racks
17103190A / Fil power dist
1168893 / Electron shower iv power supply
1168200 / Source di controller
1168201 / Source di controller
17080520-A / Lead shield
1169724 / Air distr. manifold
1184260 / Filter box
17127550 / Source alignment tool
1190500 / Electromagnetic reflector assy
1745100 / Source magnet assembly
17099070 / Cover
17095340-C / Feedthrough manifold
17324630 / (2) Insulator manipulator leds
1181831 / Faraday flag assy vit gr
- / Various blank-offs plates
1181831 / Faraday flag assy vit gr
17E3662 / Front slit (w)
17S2467 / Disk
17128680 / Block
RP1 EXH / RP1 Exhaust kit
- / Accel suppression electrode
- / (3) Various graphites
- / Various graphite
- / Source main alignment fixture
- / Vra cylinder, led ultra
- / Edwards valve
- / Edwards cable
300302720 / Ckd valve
- / Edwards vacuum gauge
- / Cooling block
- / Chamber end plate
17092060A / Roof panel, 67 cm x 87 cm x 1.5 cm
17092040C / Roof panel with exhaust cutout
17092020B / Roof panel with small exhaust cutout
17092030B / Roof panel with exhaust cutout, 120.5 cm x 67cm x 1.5 cm
17092050A / Roof panel, 120.5 cm x 67 cm x1.5 cm
17092070B / Roof panel with exhaust cutout, 120.5 cm x 67cm x 1.5 cm
17092505B / Angled roof panel with exhaust cutout, 50x28, 183x120
17092XXXX / Angled roof panel with square cutout
1707075XX / Door panel, l front 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
170707XXX / Door panel, l rear 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
17065501G / Door panel, 175.5 x 97 x 2.5
170XXXXX / Door panel, 175.5 cm x 81 cm x 2.7 cm
170X2540B / Door panel, 175.5 cm x 81 cm x 2.7 cm
17065501G / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
170XXXXX / Angled roof panel, 36.5 + 56 + 19 x 184 + 179.5 + 128.5 26.8 cm
170XXXXX / Angled roof panel, 50+28 183 (120)
17079780C / Extraction electrode shield, 62.5 cm 35 + 8 cm
17092600-D / Implant internal shield, 45.5 x 75.7 x 04
170XXXXX / Lead shield, 63.3 cm x 198 cm x 0.5 cm
1709XXXX / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
17065480C / Terminal corner beam, 196.6 cm x 7.5 + 4.7 cm
170XXXXX / Terminal corner beam, 196.6 cm x 7.5 + 2.5 cm
170XXXXX / Terminal corner beam, 196.6 cm x 7.5 + 2.5 cm
170XXXXX / Terminal corner beam, 196.6 cm x 7.5 + 2.5 cm
170XXXXX / Door panel, 175.5 cm x 81 cm x 2.7 cm
170XXXXX / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
17092540 / Door panel, 175.5 cm x 81 cm x 2.7 cm
170XXXXX / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
17065501G / Door panel, 175.5 cm x 97 cm x 2.7 cm
1179030D / Back of terminal, 194.5 cm x 223 cm
1XXXXXXX / Front of terminal, 223 cm x 194.5 cm
1XXXXXXX / Front panel, 134 cm x 110.5 cm
170XXXXX / Earth rod
17075120X / Earth rod
1995 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200E Ion Implanter & Monitor는 이온을 재료로 이식하기 위해 설계된 고구동, 고정밀 장치입니다. 이 장치에는 다양한 재료로 완벽한 트랜지스터, 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 부품을 생산하도록 설계된 다양한 옵션과 기능이 있습니다. 이 장치에는 조정 가능한 프로세스 매개변수 (adjustable process parameters) 와 설정 (settings) 배열이 포함되어 있어 광범위한 이온 임플란팅 레시피를 사용할 수 있습니다. 다른 이온 종, 전압, 전류 및 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있으므로 광범위한 임플란트 프로젝트에 적합합니다. AXCELIS GSD 200E Ion Implanter & Monitor는 AC 전원 장치이며 최대 60kV의 직류 고전압을 수용 할 수 있습니다. 고속, 고속 전자 총을 장착하여 최대 1,000 이온/초의 속도로 이온을 이식 할 수 있습니다. 또한 이온 가열로 인한 부품 오염을 피하기 위해 냉각된 수냉식 인터페이스가 있습니다. 더 큰 EATON NOVA GSD200E는 수평 및 수직 축 형성과 이온의 동시 임플랜팅을 모두 지원합니다. 이를 통해 균일 한 용량과 깊이 조절을 제공하는 한편, 사용 가능한 가장 높은 순도 (purity) 재료를 생산할 수 있습니다. 온라인 모니터는 이온 이식 (ion implanting) 프로세스에 대한 실시간 모니터링을 제공하여 사용자가 원하는 결과에 따라 매개변수를 조정할 수 있도록 합니다. 또한, 장치에는 자동으로 오류를 인식하고 이를 방지하기 위한 알고리즘을 제공하여 임플랜팅 프로세스를 최적화하는 고급 분석 모듈 (advanced analytical module) 이 장착되어 있습니다. 이 장치는 모든 안전 표준 (Safety Standard) 을 준수합니다. 이는 인력과 장비에 대한 피해 위험을 줄이기 위해 고안된 것입니다. 이 장치는 PC에서 제어되므로, 세계 어디서나 원격으로 작동할 수 있습니다. 마지막으로, GSD200E Ion Implanter & Monitor에는 동급 최고의 제품인 다양한 기능이 있습니다. 첨단 시스템 (Advanced System) 은 광범위한 재료에 빠르고 정확하게 이온을 임플란트할 수 있으며, 실시간 모니터링 시스템 (Real-Time Monitoring System) 은 사용자에게 작업을 완벽하게 제어합니다. 정확도, 정밀도, 안전성의 조합으로 인해 이온 이식 작업을위한 최고의 선택이되었습니다.
아직 리뷰가 없습니다