판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200 #9132020

EATON NOVA/AXCELIS GSD 200은 최첨단 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 도판트 이온 (dopant ion) 을 기판으로 빠르고 정확하게 제어하기 위해 설계된, 시장에서 가장 발전된 임플란터입니다. 용량율 (dose rate), 에너지 범위 (energy range), 이온 종 (ion species selection) 과 같은 다양한 공정 제어 옵션을 제공하여 반도체 및 광전자 장치의 제조 및 생산에 이상적인 선택입니다. AXCELIS GSD 200은 정확한 웨이퍼 임플란테이션을 위해 정확한 자동 컨트롤을 사용하여 중대형 (medium-to-대규모) 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. EATON NOVA GSD 200은 단일 시스템에서 최고의 수동 및 자동 프로세스를 결합하여 뛰어난 웨이퍼 적용 범위 및 수율을 제공합니다. 완전 자동화된 플랫폼과 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 를 통해 도핑 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 시스템은 빔 전류 정밀도 +/- 0.2%, 빔 에너지 정밀도 +/- 0.5% 를 달성 할 수 있습니다. 또한 GSD 200에는 자동 용량, 에너지 및 플럭스 속도 조정이 있으므로 정확하고 반복 가능한 이식 프로세스가 가능합니다. 고급 웨이퍼 스캐너 (advanced wafer scanner) 는 이식 기판을 정확하게 배치 할 수있는 반면, 디지털 이미저 및 듀얼 카메라는 완전한 웨이퍼 표면의 자세한 참조 이미지를 제공합니다. EATON NOVA/AXCELIS GSD 200에는 비상 사태가 발생할 경우 완전히 자동화된 종료를 포함하여, 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 고급 전원 공급 장치 (Advanced Power Supply System) 는 전력 사용률을 최적화하고 효율성을 향상시킵니다. 결론적으로 AXCELIS GSD 200 은 최적화된 이온 임플란테이션을 위한 탁월한 솔루션입니다. 가장 일관되고 반복 가능한 이식 (implantation) 프로세스를 만들기 위해 최신 기능과 기술을 갖추고 있습니다. '안전' 기능과 '사용자 친화적' 인터페이스를 통해 다양한 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다.