판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS GSD 200 #293805195

ID: 293805195
웨이퍼 크기: 8"
Ion implanter discs, 8".
EATON NOVA/AXCELIS GSD 200은 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 산업, 의료, 자동차 등 다양한 산업에서 사용됩니다. AXCELIS GSD 200 (AXCELIS GSD 200) 은 부품의 깊이 프로파일링뿐만 아니라 부품에 이온의 정확한 수직 임플란테이션을 제공하도록 설계되었습니다. 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. EATON NOVA GSD 200 기술은 방위 스퍼터링을 기반으로하며, RIE (row indicator electrometer) 를 사용하여 원하는 종의 이온을 사전 설정된 깊이의 표적에 이식합니다. 이온 소스와 전원 공급 장치의 두 부분으로 구성됩니다. 이온 소스 (ion source) 는 높은 해상도로 표적으로 향할 수있는 절제 깃털을 생성 할 수있다. 전원 공급 장치는 컴퓨터 제어 MMI에 연결되어 있습니다. MMI는 빔 에너지 (beam energy), 빔 전류 (beam current), 펄스 주파수 (pulse frequency) 및 프로브 시간 (probe time) 과 같은 매개변수를 설정하는 데 사용됩니다. GSD 200은 붕소, 탄소, 아르곤 및 기타 여러 가지 이온을 이식 할 수 있습니다. 높은 정밀도, 반복 가능성, 조절 가능한 매개변수의 조합으로, 이 기계는 정확한 사양에 부품을 생성 할 수 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS GSD 200에는 이온 모니터링 시스템이 장착되어 있으며, 이를 통해 임플란트 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 모니터링되는 데이터는 임플란트의 결과를 평가하고, 필요에 따라 조정하는 데 사용될 수 있습니다. 시험 임플란트 런은 나중에 리콜하기 위해 비교 및 저장할 수 있습니다. AXCELIS GSD 200은 비용 효율적이고 지속 가능한 이온 이식 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 산업용 "이온 '을 정밀성 과 반복성 이 있는 부분 으로 이온 을 이식 하는 데 이상적 인 해결책 이다. 또한 의료 및 자동차 부품에 이온을 이식하는 데에도 적합합니다. 임플랜터의 성능은 클래스의 다른 임플랜터보다 우수합니다.
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