판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Disk for GSD #9374660

EATON NOVA/AXCELIS Disk for GSD는 반도체 업계를 선도하는 통합 솔루션 공급업체인 이튼 코퍼레이션 (Eaton Corporation) 이 생산한 고급 이온 임플랜터 및 모니터 장비입니다. AXCELIS Disk for GSD는 고정밀 이온 임플란터 (high-precision ion implanter) 와 종합적인 모니터 소프트웨어 제품군을 통합된 직관적인 시스템으로 결합합니다. 이 장치는 사용자에게 이온 이식 (ion implantation) 요구 사항에 가장 높은 정확도와 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. EATON NOVA Disk for GSD는 빔, 프로세스 매개변수 등의 임플란트 조건을 최적화하고 제어하도록 설계된 고급 기계입니다. 공구는 정밀도 (정밀도) 로 다양한 재료를 사용하여 작업할 수 있습니다. 하드웨어에는 고해상도 이온 임플란터 모듈, 강력한 음극 전원 공급 장치, 향상된 빔 컨버터 설계, 고대역폭 이온 청소부 (ion scavenge) 자산이 있으며, 이들 모두 최적의 이온 임플란테이션 정확성을 보장합니다. Disk for GSD의 모니터링 기능을 사용하면 빔 전원, 빔 전류, 빔 크기, 빔 프로파일 등의 이온 빔 매개변수를 모니터링할 수 있습니다. 이 모델에는 실시간 프로파일 모니터 (Real-Time Profile Monitor) 도 있습니다. 이를 통해 사용자는 빔 프로파일 프로파일을 최적화하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS Disk for GSD는 또한 실시간 프로세스 제어 기능을 제공하며, 시스템 프로세스 매개변수와의 호환성을 위해 새로운 자료를 검사하는 기능도 제공합니다. AXCELIS Disk for GSD 는 유지 보수 비용이 저렴하며 사용이 간편한 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 장비는 광범위한 도구와 진단 서비스 (Diagnostic Services) 메뉴를 제공하여 사용자가 임플란트 프로세스를 쉽게 최적화할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 종합적인 레시피 라이브러리 (library) 와 재료 데이터 (material data) 를 갖추고 있어 정확한 결과와 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 전반적으로 EATON NOVA Disk for GSD는 높은 정확도, 낮은 유지 관리 비용, 정교한 제어를 제공하도록 설계된 고급 이온 임플랜터/모니터링 장치입니다. 하드웨어, 소프트웨어, 모니터링 (monitor) 기능이 결합되어 반도체 업계에서 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있는 이상적인 솔루션이 됩니다.