판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS Al Disk for GSD #293655848
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EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSD는 반도체 제작 산업의 애플리케이션을 위해 설계된 최첨단 이온 임플랜터이며 모니터입니다. 이 장비는 디지털 이온 모니터 (digital ion monitor), 소형 이온 임플란터 (miniature ion implanter) 및 광역 디지털 검출기를 통합하여 안정적이고 비용 효율적인 프로세스 제어를 위한 재료 프로파일 정보를 제공합니다. 이 모니터는 최고 품질의 빔 프로파일 (beam profile) 제어를 가능하게 하여 깨끗하고 정확한 임플랜테이션을 보장합니다. 시스템은 MRM (Mass-Range Measurement) 및 TI (Tandem-Ionization) 기술을 활용하여 질량 및 충전 분포를 기반으로 이온을 감지하고 모니터링 할 수 있습니다. 또한, 이온 임플란터는 웨이퍼 오염을 방지하기 위해 이온의 균일 한 분포와 고 펄스 레이저를 유지하기 위해 전자석을 수용한다. AXCELIS Al Disk for GSD 를 사용하면 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용할 수 있으므로 이 장치를 원활하고 직관적으로 작업할 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 최적의 프로세스 모니터링을 위해 이미징 검출기에 연결된 디지털 이미징 센서가 포함되어 있습니다. EATON NOVA Al Disk for GSD는 최대 사용 유연성과 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 도구는 온보드 컨트롤러의 조합으로 작동 주파수 (Operating Frequency), 펄스 속도 (Control Pulse Rate) 및 최적의 작동을 위한 모니터 온도를 변경할 수 있습니다. 또한, 자산에는 조정 가능한 이식 깊이, 다양한 이식 각도 및 이식 재료 및 응용 프로그램 (implantation configuration) 이 있습니다. Al Disk for GSD는 성능 외에도 실시간 관찰 (경고 및 알림 포함), 원격 모니터링 기능 등 고급 사용자 보호 기능도 제공합니다. 이 모델은 전극 표면의 분해를 방지하는 Al Disk electrrode surface treatment (ATES) 장비로 더욱 보완됩니다. 전반적으로 EATON NOVA/AXCELIS Al Disk for GSD는 최첨단 이온 임플란터이며 최첨단 기능으로 안정적이고 경제적인 프로세스 제어를 제공합니다. 사용자 보호 (User Protection) 기능 및 성능 기능을 통해 유연하면서도 정확한 임플랜테이션을 제공하여 활용도를 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 디지털 이미징 센서를 사용하면 최고의 임플랜테이션 (implantation) 품질을 얻을 수 있습니다.
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