판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS 8250HT #9410494
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ID: 9410494
Implanter
Beamline and endstation
(2) Valves
Higher maintenance flexibility
Enhanced ELS Ion source:
Common with MC3, HE, HE3
Active Vaporizer Cooling (AVC)
Source lifetime: > 400 Hours
3-Axis extraction electrode:
Extraction voltage: 15 kV - 40kV
Water cooled
Water cooled: 90°
Mass analysis Magnet
Closed-loop AMU controller
(2) Vaporizers
High temperature
AVC Temperature
Auto tune beam current target
Achieving desired energy
Beam scanning and beam correction
Electrostatic angle correction
Beam parallelism measurement
Exceptional beam parallelism
Angular Energy Filter (AEF)
Dosimetry system and charge control
Secondary electron shower
Electrostatic clamping
In-air wafer handling
In-vac wafer scanning
Wafer handling sequence
Control system
Uniformity and repeatability
Proven control system.
EATON NOVA/AXCELIS 8250HT는 복잡한 반도체 제조 응용 프로그램을위한 정교한 이온 임플란터이자 모니터입니다. 정밀도가 높은 재료를 처리하고, 높은 정밀도, 정밀도 재료의 생산 공정을 분석, 조절, 제어할 수 있는 도구입니다. 대폭과 짧은 처리 시간 (pulse width and short processing time) 을 통해 고출력 이온 임플란테이션을 위한 효율적인 솔루션입니다. AXCELIS 8250HT 는 첨단 가속기, 전원 공급 장치, 프로세스 제어 시스템 (Process Control System) 의 조합을 활용하여 운영 환경을 최적의 수준으로 유지합니다. 생산성, 정확성, 안전성을 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. FAS (Flexible Accumulator Equipment) 는 웨이퍼 또는 태양 전지를 빠르게 스캔하여 정확성을 확인하고 오류를 줄일 수 있습니다. PDC (Programmed Digital Control System) 는 최고의 순도 및 성능을 보장하기 위해 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하는 데 사용됩니다. 또한 최적화된 결과를 위해 매개변수 설정을 분석, 분리 및 조정할 수 있는 IDAA (Intact/Darkside Auto-Analysis) 단위가 포함되어 있습니다. 자동 기능 외에도 EATON NOVA 8250 HT는 운영자에게 모니터링 도구 모음을 제공합니다. GUI (Graphical User Interface) 는 단순하고 직관적인 방식으로 프로세스를 관리하고 필요에 따라 조정합니다. RDS (Remote Diagnostic Machine) 는 도구의 오작동 또는 불일치를 문제 해결, 진단 및 미세 조정하는 데 사용됩니다. 품질 매핑 (Quality Mapping) 기술은 웨이퍼 또는 태양 전지의 다른 위치에 미치는 이식 효과를 정확하게 감지하고 분석 할 수 있습니다. 마지막으로, 사용자 전환 가능 단계 (User-Switchable Stage) 는 다른 임플란트 조건을 신속하게 전환하여 데이터를 손실하지 않고 효율적인 프로세스를 보장할 수 있습니다. EATON NOVA 8250HT는 프로세스 정확도, 속도, 안전성을 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능을 갖춘 고급적이고 혁신적인 이온 임플란터 및 모니터입니다. 다재다능하고 포괄적인 컨트롤을 통해 반도체 제조 전문 응용 분야에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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