판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9257995

EATON NOVA/AXCELIS 6200은 Eaton Machines에서 생산 한 중급 이온 임플랜터 및 모니터 모델입니다. AXCELIS 6200 은 반도체 업계에서 고속 생산에 사용하도록 설계되었습니다. 중거리 이온 이식 (ion implantation) 및 임플란트 프로세스 중 모니터링에 이상적인 선택입니다. EATON NOVA 6200은 정확하고 정확한 임플란트를 제공하도록 설계된 강력하고 효율적인 기계입니다. Boron, Phosphorous, Arsenic, Antimony 또는 기타 이온으로 양극면, 음극면, 편리성 및 자기 편향화 할 수 있습니다. 이를 통해 높은 수준의 임플란트 제어 및 정확한 이온 용량 임플란테이션이 가능합니다. 또한, 원하는 수준의 이온 이식 (ion implantation) 을 가장 효율적으로 생성하기 위해 광범위한 이식 속도를 가능하게한다. 6200 에는 모든 매개변수가 공차 내에 유지되도록 여러 모니터링 시스템이 장착되어 있습니다. 예를 들어, 시스템은 빔 전류, 에너지 수준, 챔버 온도 및 시스템 튜닝 가능성을 모니터링합니다. 또한 임플란트가 제대로 수행되도록 돕는 다양한 자동 프로세스도 갖추고 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS 6200에는 원하는 이온을 정확하게 주입 할 수있는 고정밀 자동화 시스템이 장착되어 있습니다. 다양한 유형의 기판 및 이온에 대해 사용자 정의 가능한 이온 임플란트 설정이 있습니다. 이렇게 하면 각 착상이 매번 완벽하게 수행됩니다. AXCELIS 6200 은 안전도 고려하여 설계되었습니다. 운영자와 직원을 보호하기 위해 설계된 몇 가지 기능이 장착되어 있습니다. 이 기계는 임플란트 용량을 지속적으로 모니터링하고 유해한 수준의 방사선으로부터 인력을 보호하기 위해 용량 모니터 (dose monitor) 와 같은 최신 안전 장치를 자랑합니다. 또한 "진공 잠금 '(vacuum lock) 과" 전원 차단' (power-off) 을 비롯한 여러 가지 다른 안전 기능이 있어 우발적인 기계 작동을 막을 수 있습니다. 전반적으로 EATON NOVA 6200은 신뢰할 수 있고 효율적인 중급 이온 임플란터 및 모니터입니다. 정밀한 임플란트 및 모니터링을 제공하여 중거리 이온 임플란테이션을 가능하게하도록 설계되었습니다. 고도로 자동화되어 있으며, 인력을 보호하는 데 도움이 되는 여러 가지 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있습니다. 6200 (6200) 은 중거리 이온 임플란트를 생산하는 효율적인 방법을 찾는 반도체 생산 라인에 이상적인 선택입니다.