판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #9182215

EATON NOVA/AXCELIS 6200 이온 임플란터 및 모니터는 고성능 최첨단 이온 이온 이식 장비입니다. 최첨단 기술과 오랜 경험을 결합하여 최적의 성능, 안전, 신뢰성을 제공합니다. 이 시스템의 소스 기술은 광범위한 임플란트 에너지 (implant energy) 와 고용량을 지원합니다. 이 소스는 카트리지 기반이며, 교체 가능한 서랍로드 도가니 및 캐비티 소스가 있으며, 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 스캐너는 임플란트 방향과 크기를 정확하게 제어 할 수있는 전자기장 (electromagnetic field) 을 사용합니다. 그것의 디자인은 균일 한 용량 분배와 라인 모서리 및 그리드 영역의 제어를 보장합니다. AXCELIS 6200은 최대 4개의 용량과 임플란트 각도를 허용합니다. 결과 이식 패턴은 스캐너 회전 샤프트에 마운트된 광학 인코더로 모니터링됩니다. 이 단위를 사용하면 이식 각도를 1.3도의 정확도로 모니터링할 수 있습니다. 이 기계에는 또한 피드 가스 유량 (Fed Gas Flowrate) 의 정확한 제어를 위한 고성능 질량 흐름 컨트롤러 (Mass-Flow Controller) 와 전력 변동시 프로세스 안정성을 유지하기 위한 승차 전원 기능이 포함되어 있습니다. EATON NOVA 6200 머신에는 고급 웨이퍼 온도 제어 도구 (Advanced Wafer Temperature Control Tool) 가 장착되어 있어 웨이퍼 전체에 균일 한 온도가 유지되므로 과열로 인한 민감한 장치에 대한 손상이 줄어 듭니다. 자동 및 수동 웨이퍼 정렬 기능이 모두 포함됩니다. 6200 기계에는 강력한 진단 도구와 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 가 포함되어 있어 문제 진단 및 문제 해결에 도움이 됩니다. 또한 고급 실시간 자산 모니터링 (Advanced Real Time Asset Monitoring) 을 통해 모델이 항상 안전하고 안정적인 방식으로 작동하는지 확인합니다. 하이엔드 성능과 고급 장비 모니터링을 통해 EATON NOVA/AXCELIS 6200 은 현재 까다로운 ion implantation 애플리케이션을 위한 이상적인 솔루션입니다.