판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS 6200 #293752727

EATON NOVA/AXCELIS 6200은 고성능 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 이온 빔 프로세싱에서 대량 생산을 위해 설계되었으며 반도체 제조, 자동차, 항공 우주, 의료 등 다양한 산업에서 사용됩니다. AXCELIS 6200 은 4 가지 주요 구성 요소 (이온 건, 고전압 전원 공급 장치, 빔라인 모니터, 제어 시스템) 로 구성된 완전 자체 장착 장비입니다. "이온 '총 은" 이온' 을 작동 "에너지 '로 가속 시키는 고전압 전원 공급 장치 로 구동 된다. 빔라인 모니터는 정확한 작동을 위해 이온 빔 (ion beam) 의 정확한 매개변수를 측정하고 제어 장치 (control unit) 에 대한 피드백 (feedback) 을 수행합니다. EATON NOVA 6200은 직경이 최대 6 ", 길이가 최대 12" 인 웨이퍼에서 이온 임플란테이션을 수행 할 수 있습니다. "미터 '당 최대 3 백만" 볼트' 의 "에너지 '에서 이온' 착상 을 할 수 있으며, 20 내지 10,000 개 의" 나노샘플 '의 빔' 전류 가 있다. 또한 B11, Gaif, O2 +, N2 +, P2 + 및 Ar + 를 포함한 다양한 다른 이온과 함께 양성 및 음성 이온을 모두 이식 할 수 있습니다. 6200은 빔 기하학, 빔 에너지, 빔 전류 및 용량 측면에서 최고의 정밀도를 제공합니다. 또한 마스크를 사용하지 않고 매우 균일 한 빔 프로파일 (beam profile) 과 천공 (perforation) 을 제공합니다. 더욱이, 이 기계는 뛰어난 반복성으로 빠른 처리 (rapid processing) 를 수행할 수 있으며, 높은 수준의 생산성과 정확성을 제공합니다. EATON NOVA/AXCELIS 6200에는 VAS (Visual Alarm Tool), 오작동 방지용 디지털 연동 장치, 고급 HV 전원 공급 장치 및 빔 모니터 보호 시스템 등의 안전 기능이 내장되어 있습니다. 이는 자산이 항상 작동하도록 보장합니다. AXCELIS 6200 은 고급, 신뢰성, 신뢰성 있는 시스템 성능의 효율적인 작동과 제어를 위한 완벽한 선택입니다. 사용하기 쉽고 경제적인 패키지로 탁월한 성능, 정확성, 유연성을 제공합니다.