판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS 25D1HE #9142166

EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE 이온 임플란터는 반도체 제조 및 조립에 사용되는 고정밀 고성능 기계입니다. 이 이온 임플란터는 특히 고효율 이온 임플란테이션과 3D 스택 다이 또는 MEMS/MOEMS 장치의 모니터링에 적합합니다. AXCELIS 25D1HE의 중요한 구성 요소는 다음과 같습니다. 고해상도, 고정밀 스캔 전자 현미경; 집중된 이온 빔 (FIB) 열; 원격 플라즈마 소스 (RPS); 고 힘 전자 빔 (HFEB) 열. EATON NOVA 25D1HE의 현미경 기능을 사용하면 하위 앙스트롬 해상도로 나노 구조를 이미징할 수 있습니다. 이온 빔 (ion beam column) 은 최대 1 MeV의 임플란트 에너지로 이온 임플란테이션을 수행 할 수 있으며, 임플란테이션의 균일성을 보장하기 위해 빔에 집중할 수 있습니다. RPS는 사용자에게 임플란테이션 챔버 내에서 플라즈마를 생성하는 기능을 제공합니다. 이를 통해 신속한 이식, 임플란트 균일성 향상, 장치 오정 정렬 감소 등이 가능합니다. HFEB (HFEB) 열은 고정밀 (high-precision) 피쳐 제어를 제공하여 사용자가 정확성과 반복성을 향상시켜 기능을 에치할 수 있도록 합니다. 25D1HE 는 또한 이온 임플란터의 성능을 지속적으로 기록하는 통합 모니터링 장비 (Integrated Monitoring Equipment) 를 제공하여 사용자에게 실시간 피드백을 제공합니다. 이 모니터링 시스템은 다양한 센서와 진단 기능을 사용하여 이온 빔 매개변수 (ion beam parameters), 챔버 압력 (chamber pressure), 셀 온도 (cell temperature) 와 같은 진단 매개변수 값을 측정하고 표시합니다. 또한 구축 (implantation) 프로세스에 대한 정보를 추적 및 기록하여 완료된 디바이스의 최고 품질 (Quality) 과 정확도를 보장할 수 있습니다. EATON NOVA/AXCELIS 25D1HE는 신뢰할 수 있는 고급 이온 임플랜터 및 모니터링 장치입니다. 이 제품은 다양한 이온 임플란테이션 (implantation) 작업에서 탁월한 성능과 정확성을 제공하여 프로토 타입 (prototyping) 및 프로덕션 어플리케이션 (production application) 모두에 적합한 옵션을 제공합니다. '통합 모니터링 시스템 (Integrated Monitoring Machine)' 을 사용하면 시스템 성능을 지속적으로 평가하여 최적의 결과를 제공하는 디바이스를 생성할 수 있습니다.