판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS 1204990 REV C #9145255

EATON NOVA/AXCELIS 1204990 REV C 이온 임플란터 및 모니터는 제어된 방식으로 이온을 반도체 기판에 이식하는 데 사용되는 최첨단 장비입니다. 이 "프로 '는 박막 에서 정확 하고 정확 한 깊이" 프로파일' 을 만들 수 있고, 최적 의 결과 를 얻기 위하여 조정 해야 할 "파라미터 '도 결정 할 수 있도록 설계 되었다. 이 "시스템 '은 여러 부분 으로 구성 되어 있는데, 그중 가장 중요 한 부분 중 하나 는 진공실 이다. 이곳 에서 실제 "이온 '임플란트' 시술 이 이루어지고 그 벽 은" 스테인레스 '강철 로 만들어진다. 진공은 정해진 수준의 압력을 유지하는 공압 장치 (pneumatic unit) 로 대피합니다. 임플란테이션 과정에서 기판의 안정성과 무결성 (integrity) 을 유지하는 데 중요하다. 이 기계에는 다양한 컴퓨터 제어 측정 및 분석 도구가 장착되어 있습니다. 여기에는 잔류 가스 분석기, 질량 분석기, 이온 모니터 및 질량 필터가 포함됩니다. 질량 분석기 (Mass Spectrometer) 는 이온 이온 (ion) 의 종을 식별하는 데 사용되며, 이온 모니터 (ion monitor) 는 임플란테이션과 그 효과를 지속적으로 모니터링 할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스가 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 정밀 빔 조향 및 초점에 사용되는 고정밀 이온 광학 구성 요소도 갖추고 있습니다. 이것 은 원하는 깊이 와 "프로파일 '을 이루는 것 과 기판 전체 의" 이온' 의 분포 를 조절 하는 데 중요 하다. 이 자산에는 2 차 전자 승수 (secondary electron multiplier) 도 포함되어 있으며, 이는 이온이 기판에 들어갈 때 생성 된 2 차 전자의 더 나은 검출에 사용됩니다. 이는 프로세스에서 더 큰 정확성과 반복성을 달성하는 데 도움이됩니다. AXCELIS 1204990 REV (Rev C) 이온 임플랜터 및 모니터는 매우 정확하고 안정적인 이식 프로세스를 제공하는 고급 모델입니다. 구성 요소는 품질이 가장 높도록 설계되었으며, 조화를 이루도록 구성되었으며, 효율적이고, 신뢰할 수 있고, 비용 효율적인 결과를 제공합니다. 최신 반도체 칩의 품질 관리를위한 완벽한 장비입니다.