판매용 중고 AXCELIS / FUSION UV #9145265

AXCELIS/FUSION UV는 자외선 (FUSION UV) 광 감수성 재료를 노출시키는 고급 장비입니다. 반도체 장치 및 웨이퍼 제작을 위해 설계된 리소그래피 머신입니다. AXCELIS UV 시스템은 프로젝션 광학이 있는 UV 램프를 사용하여 다양한 노출 패턴을 제공하는 레지스트 (Resist) 노출 장치입니다. 램프 파워 (lamp power) 와 광도 (light intensity) 를 조정하여 포토 esist를 정확하게 노출 할 수 있습니다. 또한 저항 표면에서 반사를 줄이기 위해 ARC (Anti-Reflective Coating) 챔버를 장착하여 이미지 선명도를 높입니다. 이 기계는 또한 자동 스테퍼/스캐너를 사용하여 기질의 균일 한 노출을 확인합니다. AXCELIS/FUSION UV 툴은 다양한 포토 마스크 (photomask) 에 대한 노출을 만들 수 있으며, 크기가 작을수록 정확성과 반복성이 높은 대형 패턴까지 다양합니다. 에셋에는 고급 지형 매쳐 (advanced topography matcher) 가 장착되어 있어 사용자 정의 노출 패턴을 기판 표면에 직접 전송할 수 있습니다. 스테퍼/스캐너는 여러 기판에서 정확하고 반복 가능한 패턴 전송을 보장합니다. FUSION UV 모델에는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 고강도 AXCELIS UV 방사선 접촉으로부터 직원을 보호하는 온도 및 안전 챔버가 포함됩니다. 안전 연동 장비 (Safety-Interlock Equipment) 는 노출된 인원이 노출 영역에 들어가면 시스템을 즉시 종료하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 노출 지역의 전면 및 후면 벽에서 모든 인원 접근을 감지하기위한 바이오 스칸 (bio-scanne r) 도 포함되어 있습니다. UV 기계는 반도체 장치 제작에서 리소그래피 프로세스를 위해 신뢰할 수 있고 다양한 노출 도구입니다. 이 자산은 크기 (small-to-large-size) 이미지 노출 및 패턴 전송을 통해 정확성과 반복 가능성을 제공합니다. 안전 기능은 직원이 위험한 AXCELIS/FUSION UV 방사선으로부터 안전하게 보호되도록 보장합니다. 고급 모델은 반도체 리소그래피 프로세스를 위한 효율적이고, 정확하고, 자동화되고, 신뢰할 수 있는 도구를 제공합니다.