판매용 중고 AXCELIS / FUSION UV LC-6B #9061093

AXCELIS/FUSION UV LC-6B는 FUSION의 최첨단 기능 노출 장비입니다. 이 시스템은 처리량 및 수율을 극대화하기 위해 정밀 자외선 (UV) 리소그래피 노출을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 특히 모듈식 (modular) 과 확장성이 뛰어나므로 대용량 (mid-to-volume) 생산 환경에 적합합니다. FUSION UV LC-6B는 고급 설정 및 정렬 옵션을 제공하여 마스크 대 웨이퍼 정렬의 뛰어난 감소 및 정확성을 제공합니다. 이는 정확한 노출 좌표를 보장하고 더 높은 수익률을 보장합니다. "머신 '은 고도 의 자동화 를 거쳐" 오퍼레이터' 의 개입 을 최소화 하였으며, 정확 한 노출 을 위한 정밀 단계 "드라이브 '를 갖추고 있다. 챔버 크기는 사용자 정의가 가능하며 직경 200mm까지의 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 도구는 정확한 노출 제어를 위한 고급 광학 성능을 제공합니다. 자외선 조절 가능한 조리개는 균일 한 조명 강도와 재생 가능한 결과를 보장합니다. 고급 리플렉터 기술은 탁월한 스냅인 (snap-in) 편의성을 촉진하고, 잘못 정렬하는 것을 제거하고, 변화의 시간을 줄여줍니다. 고급 빔 스캐닝 헤드 (beam scanning head) 및 자동 리포커스 옵틱은 필드 변동성의 초점 깊이를 줄이고 설정 (Setup) 최적화를 최소화합니다. AXCELIS UV LC-6B는 최대 25mJ/cm2의 노출 용량에 도달하여 뛰어난 해상도를 제공합니다. 이 자산의 고급 배치 모드 (batch-mode) 처리는 처리량이 많은 상황에 적합하며, 각기 다른 기판/노출 용량 요구 사항을 충족하도록 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 고급 인라인 프로세스 제어는 최대 웨이퍼-투-웨이퍼 (wafer-to-wafer) 반복성을 보장하는 반면, 특허받은 비접촉 기판 및 중간 보유자는 오염을 방지합니다. UV LC-6B는 MultiFab 및 Temptronic NxStep 라이브러리를 포함한 다양한 자동화 라이브러리와 작동하도록 설계되었습니다. '패터닝 (patterning)' 을 위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션으로 일관된 결과에 의존할 수 있습니다. 고급 이미징 기술과 강력한 모델 소프트웨어를 갖춘 AXCELIS/FUSION UV LC-6B 는 SMB (중소, 중견, 성장 기업) 에서 대용량 생산을 위한 이상적인 노출 솔루션입니다.