판매용 중고 AXCELIS / FUSION UV-150PC #9144789

AXCELIS/FUSION UV-150PC는 고급 장치 제조를 위한 효율적인 사진 분석 프로세스를 제공하기 위해 설계된 노출 장비입니다. 고급 이미징 기술을 통합한 FUSION UV-150PC는 포토마스크 제조, 반도체 및 기타 관련 프로세스에서 품질과 생산성을 보장할 수 있습니다. 노출 시스템 (Exposure System) 은 고급 자유형 포토마스크 (photomask) 패턴의 요구 사항을 충족하는 넓은 프로세스 윈도우에 걸쳐 안정적인 노출 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 차세대 포토마스크 개발 (photomask development) 과 해상도 개선 기술 (RET), 하드마스크 노출과 같은 어플리케이션을위한 최적의 장치입니다. AXCELIS UV-150PC는 생산성과 생산성을 향상시키는 다양한 기능을 제공합니다. 자동 초점 장치 (autofocus machine) 는 기판의 지형적 차이를 자동으로 보완하여 노출 도구의 정확성과 반복 성을 향상시킵니다. 자동 초점 기술 (autofocus technology) 은 노출 단계에서 경미한 결함을 해결하기 위해 노출 데이터를 디지털로 다시 매핑 할 수 있습니다. 또한 고급 이미징 기술은 고속 노출 속도와 균일성을 제공합니다. UV-150PC에는 통합 열 관리 자산도 있습니다. 내장 온도 제어 모델을 통해 노출 장비는 클리핑 (clipping) 없이 일관된 photomask 패턴을 보장합니다. 또한, 고급 광학 시스템은 최적화 된 스펙트럼 균일성을 제공하며, 노출 과정 전반에 걸쳐 노출 정확도에 탁월한 병렬성을 제공합니다. 마지막으로, 향상된 진공 아키텍처는 안정적인 이미징을 보장하며, 뛰어난 이미지 보존을 제공합니다. AXCELIS/FUSION UV-150PC는 또한 재료 사용을 최소화하도록 설계되었으며, 최적화된 그리드 기술을 통해 입자 생성을 줄일 수 있습니다. 또한 스캔 속도를 극대화하고 포토 마스크 (photomask) 의 인공물을 최소화하는 구성 가능한 스캔 장치를 갖추고 있습니다. 또한, 완전히 구성 가능한 자동 추적 머신 (auto-track machine) 을 사용하면 응용 프로그램의 요구 사항에 따라 포커스 및 용량 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. FUSION UV-150PC는 다양한 사진 촬영 프로세스에 탁월한 생산성, 정확성 및 효율성을 제공하는 고급 노출 도구입니다. 고급 이미징 에셋 (Advanced Imaging Asset) 은 광범위한 응용 분야에서 매우 정확하고 정확한 노출을 보장하며, 이는 물질 폐기물을 최소화하고 수율을 증가시키는 데 도움이 될 수 있습니다. 정교한 내장형 온도 제어 모델은 뛰어난 화질을 제공하는 반면, 혁신적인 진공 아키텍처 (Vacuum Architecture) 는 최적의 안정성과 이미지 보존을 보장합니다. 마지막으로, 고속 스캔 기능과 자동 추적 장비는 높은 처리량과 반복 가능한 결과를 보장합니다.