판매용 중고 AXCELIS / FUSION UV-150PC #9134022

AXCELIS/FUSION UV-150PC 노출 장비는 다양한 기판에 균일 한 노출을 제공하도록 설계된 광범위한 조사 시스템입니다. 여기에는 유리, 폴리머, 실리콘 또는 UV 스펙트럼 범위에서 광합성을 겪을 수있는 다른 물질과 같은 요소가 포함됩니다. FUSION UV-150PC는 안정성, 수명 및 프로세스 유연성을 염두에 두고 제작되었으며, 이를 보장하기 위해 기존 제조업체의 구성 요소를 사용합니다. 이 노출 장치 (Exposure Unit) 는 매우 다양한 재료와 기질이 자외선에 노출되는 프로세스에 적합합니다. AXCELIS UV-150PC는 고급 패널 축 설계를 통해 마스크 패턴이 있는 유리 (예: 최소한의 기울기 또는 간섭) 와 같은 대형 및/또는 투과 가능한 행렬에 지속적으로 노출 할 수 있습니다. 노출기 에는 또한 "루우브르 '표적 에 있는" 보드' 를 정확 하게 정렬 할 수 있는 "레이저 '유도 보정 도구 가 있다. 자산의 총 에너지 범위는 5-650 J/m2이고 큰 정밀 창은 ± 2.5% 입니다. 이를 통해 모든 종류의 재료와 높은 균일성 (unifority) 을 안정적으로 처리 할 수 있습니다. 슬롯 배기 모델 (Slotted Exhaust Model) 은 광학 프로세스에 대한 팬 드래그 효과를 줄이기 위해 설계되었으며, 온보드 UV 센서는 일관성을 유지하기 위해 광원 강도를 지속적으로 모니터링합니다. 이 장비는 또한 무단 액세스를 방지하는 변조 방지 전면 패널 (Tamper-Resistance Front Panel) 과 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 자체 진단 모드 (Self Diagnosis Mode) 가 포함되어 있어 시스템 오작동을 빠르고 쉽게 확인할 수 있습니다. 또한 LED 전원 및 퓨즈 (fuse) 표시기를 통해 장치의 전반적인 성능을 쉽게 이해할 수 있습니다. 마지막으로, UV-150PC (UV-150PC) 는 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 기계에 들어갈 수있는 유해한 입자를 가두기위한 입자 필터를 제공합니다. 이 필터는 특수 도구가 필요 없이 빠르고 쉽게 대체할 수 있습니다. 이 기능은 AXCELIS/FUSION UV-150PC를 환경 규정이 엄격한 기업에게 적합한 옵션으로 만듭니다.