판매용 중고 AXCELIS / FUSION Summit XT #9352620
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
AXCELIS/FUSION Summit XT는 매우 정확하고 정확한 포토마스크 제작 기능을 제공하도록 설계된 포괄적이고 강력한 노출 장비입니다. FUSION Summit XT는 248nm (KrF) 에서 405nm (UV) 의 다양한 미디어 및 파장을 사용하여 다양한 포토 마스크를 노출 할 수 있습니다. 석영에서 유리, 금속 등 다양한 미디어를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 노출된 포토마스크에서 가장 높은 품질과 정확성을 보장하기 위해 6면, 완전 밀폐, 진동 분리 환경을 갖추고 있습니다. 고속 처리 기능을 통해 가장 까다로운 photomask 어플리케이션에 적합합니다. 특허받은 웨이퍼 및 포토 마스크 스캐닝 장치 (photomask scanning unit) 는 포토 마스크 전체에 걸쳐 매우 균일한 노출을 가능하게하여 비용이 많이 들고 에너지 집약적인 재조정이 필요합니다. AXCELIS Summit XT는 시각 검사 시스템, 현미경, 레이저 측정 시스템 등 다양한 정밀 포토 마스크 검사 시스템을 지원합니다. 이를 통해 포토 마스크 모서리 (photomask edges) 및 기타 중요한 피쳐에 대한 상세한 검사 (examinatio) 를 수행할 수 있습니다. 또한, 노출 도량형 도구 모음을 사용하여 노출의 변화를 모니터링하고 기계 성능을 확인할 수 있습니다. 서밋 XT (Summit XT) 는 매우 높은 해상도의 패턴을 처리하고 높은 정밀도로 노출을 지원합니다. 업계 최고의 정렬 정확도로 인해 뛰어난 오버레이 성능이 제공되며, photomask 제조 공정의 수율을 향상시킬 수 있습니다. 이 도구는 서브 마이크론 성능 (sub-micron performance) 을 포함한 다양한 해상도 형식을 지원하며, 높은 노출 균일성을 통해 생산성을 높이고 스크랩/재작업 비용을 줄일 수 있습니다. AXCELIS/FUSION Summit XT는 모든 photomask 애플리케이션의 요구를 충족하는 다양한 구성을 제공합니다. 이러한 유연성은 변화하는 시장/프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 프로세스를 신속하게 조정해야 하는 고객에게 도움이 됩니다 (영문). FUSION Summit XT는 최대 성능을 보장하기 위해 광범위한 원격 서비스 네트워크에서 지원됩니다. 또한 이 자산은 업계에서 가장 포괄적인 유지 보수/진단 기능을 갖추고 있어 모든 위치에서 중요한 모델 정보를 액세스하여 보다 빠르고 효율적인 진단/응답 (diagnostics and response) 기능을 제공합니다. 장비는 사용하기 쉽고, 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 기능과 기능에 빠르게 액세스할 수 있습니다. 또한 AXCELIS Summit XT 를 정확한 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있도록 다양한 옵션과 업그레이드가 제공됩니다 (영문).
아직 리뷰가 없습니다