판매용 중고 AXCELIS / FUSION Summit XT #9235774

AXCELIS/FUSION Summit XT는 반도체 산업의 특화된 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 가장 까다로운 미세 구조 및 장치 (device) 기능을 생산할 수 있으며, 해상도가 가장 높고 오버레이가 정확합니다. 초고속 플라즈마 소스를 통해 최대 800nm/min의 이온 이식 속도 (ion implantation speed) 와 최고 수준의 해상도와 정확도를 제공하는 최고의 이미징 장치 (unatched imaging unit) 를 제공합니다. FUSION Summit XT는 벌크 실리콘 웨이퍼에서 초박형 나놀레이어가 포함 된 SynGap ™ 웨이퍼에 이르기까지 다양한 기판을 노출 할 수 있습니다. 이 기계에는 고급 독점 이미지 분석 (Advanced Proprietary Image Analysis) 및 개선 소프트웨어 (Enhancement Software) 가 포함되어 있어 매우 작은 피쳐를 유지 보수하는 동시에 최고 수준의 기판 평면을 보장합니다. 또한 고급 고속 (Rapid Stage) 자동화 툴을 통해 높은 수준의 반복 (Repeatability) 기능을 제공하여 사용자가 정확성을 저해하지 않고도 제조 모델의 변화에 신속하게 적응할 수 있습니다. 가스전달모델과 플라즈마 들뜨기 (Plasma Excitation Source) (옵션) 를 비롯한 추가 클러스터, 모듈을 추가하여 자산을 더욱 강화할 수 있다. AXCELIS Summit XT는 직관적이고, 사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스를 통해 손쉽고 효율적인 레시피 개발, 운영 및 장비 모니터링을 지원합니다. 또한 내장형 하드 드라이브 (레시피 설정 및 시스템 로그 데이터 저장) 가 있습니다. 또한, 이 장치에는 자동 제어 및 실시간 도구 모니터링이 가능한 임베디드 머신 컨트롤 프로세서 (Embedded Machine Control Processor) 가 장착되어 있습니다. 이 머신은 24/7 생산 환경에서 사용할 수 있도록 제작되었으며, 높은 수준의 안정성과 견고성을 제공합니다. 특화된 에어컨 (air conditioning) 자산을 활용하여 필요한 온도와 습도를 유지하고, 민감한 장치에 대해 환경 및 ESD 규정을 준수합니다. Summit XT는 대용량 반도체 생산을위한 완벽한 솔루션입니다. 고속 이미징 해상도와 최고급 기판 처리 (top-of-the-line substrate-handling) 기능을 갖춘 이 모델은 모든 최첨단 웨이퍼 제조 설비를 위한 필수품입니다.