판매용 중고 AXCELIS / FUSION Summit XT #9189027

AXCELIS/FUSION Summit XT는 반도체 제조에 사용되는 상업용 석판 공정을 위해 설계된 사전 노출 장비입니다. 이미징 처리량과 고정밀도 레이어 정의에 최적화된 정밀 모터 액추에이터 (precision motor actuator) 에 의해 구동되는 완전 자동화된 3축 시스템입니다. 100 와트의 레이저 조명 프로젝션 장치 (laser-illuminated projection device) 와 하이 볼륨 (high-volume) 및 로우 볼륨 (low-volume) 생산을 모두 처리 할 수있는 전동식 마스크 정렬기를 갖춘 고급 광 장치를 갖추고 있습니다. FUSION Summit XT는 고급 광학의 활용을 통해 대용량 결정 광석판 프로세스를 최대화하도록 설계되었습니다. 모듈식 아키텍처 (Modular Architecture) 를 통해 광범위한 노출 모드를 통해 기존 운영 인프라에 통합할 수 있습니다. 이 기계에는 정교한 소프트웨어 제어 시스템 (Software Control System) 이 장착되어 있어 도구 성능을 최적화하고 안정적이고 일관성 있는 작동을 보장합니다. 정밀도와 정확도가 높은 매우 복잡한 패턴을 생성하는 데 사용될 수 있습니다. AXCELIS Summit XT의 광 자산은 양수 및 음수 노출 레이어를 모두 노출시키는 한편, 노출 영역을 최소 0.1 um에서 최대 50 um으로 변경할 수 있습니다. 또한 고해상도 이미지를 캡처하여 포토마스크 (photomask) 에서 웨이퍼 (wafer) 로 고품질 이미지를 전송하여 인쇄 주기 시간을 단축할 수 있습니다. 또한 자동화된 프로세스 기능과 결합된 모듈식 (modular) 하드웨어와 맞춤형 (customized) 하드웨어를 통해 여러 wafer 프로세스를 동시에 실행하여 운영 효율성을 극대화할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 Wafer 의 여러 계층에 대한 프로세스를 운영자의 개입 (Intervention) 이나 재프로그래밍 (Reprogramming) 없이 미리 프로그래밍 및 자동화할 수 있습니다. Summit XT의 통합 소프트웨어 플랫폼에는 프로세스 제어, 유효 용량 매핑, 웨이퍼 정렬, 초점 제어, 바코드 인식, 스크립트 편집, 이미지 캡처 등과 같은 프로세스 제어 및 성능 최적화 도구가 포함됩니다. 이 소프트웨어는 광범위한 외부 석판화 (lithography) 도구를 사용하여 모델 성능 및 제조 수익률을 최적화합니다. AXCELIS/FUSION Summit XT (AXCELIS/FUSION Summit XT) 에는 인원과 장비를 보호하는 다양한 안전 기능이 포함되어 있으며, 탁월한 이미징 조건을 보장하는 고급 환경 제어 시스템도 포함되어 있습니다. 이 장치는 다양한 고객 요구를 충족할 수 있도록 맞춤형으로 구성할 수 있으며, 글로벌 서비스/지원을 통해 지원됩니다. 요약하면, FUSION Summit XT는 대용량 제품 제조 프로세스에 적합한 고급 자동 노출 기계입니다. 고급 옵티컬 툴 (Optical Tool), 특정 산업 요구 사항을 충족하는 맞춤형 구성, 강력한 소프트웨어 플랫폼 등을 갖추고 있습니다. 이 자산은 인력 안전과 환경 관리를 보장하면서 프로세스 성능 (process performance) 및 제조 수익률을 최적화하도록 설계되었습니다.