판매용 중고 AXCELIS / FUSION Summit XT #9107033
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AXCELIS/FUSION Summit XT는 반도체 장치 구성 프로세스에서 정확한 웨이퍼 노출을 위해 설계된 통합 장비입니다. 초고해상도 스테퍼 모터, 진공실, 초점 및 정렬 어셈블리, 포토 마스크, 견고한 로봇 제어 시스템 등 다양한 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이 시스템은 우수한 해상도 장치를 생산하기 위해 Sub-micron 설계 규칙 준수를 달성 할 수 있습니다. 스테퍼 모터 (stepper motor) 는 장치의 중요한 구성 요소이며, 노출 필드의 정밀 이동을 통해 일관된 정렬 및 정확한 노출을 보장합니다. "모터 '의 고해상도 는 회로, 접촉 손가락, 심지어 가장 작은" 트렌치' 와 같은 극히 작은 구조 의 생산 을 지지 한다. 진공실은 원치 않는 공기 및 환경 오염 물질이 기계에 들어가는 것을 방지합니다. 노출 어셈블리 (Exposure Assembly) 와 외부 환경 사이의 압력 장벽 (Pressure Barrier) 으로 작동하여 공구가 깨끗하게 유지됩니다. 클린 (Clean) 환경은 여러 칩에서 반복 가능한 결과뿐만 아니라 일관된 이미지 품질을 달성하는 핵심 요소입니다. 포커스 및 정렬 어셈블리는 노출 프로세스 전에 포토 마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 정렬하는 데 사용됩니다. 이는 노출 된 패턴이 정확하고 정확한지 확인합니다. 어셈블리는 또한 포토 마스크 (photomask) 가 웨이퍼 (wafer) 에 대해 제대로 정렬되어 있는지 확인하여 장치 특성의 오류 (error) 나 변동 (fluctuation) 이 발생할 가능성을 최소화합니다. 포토 마스크 (photomask) 에는 노출 과정에서 웨이퍼에 전달되는 패턴이 포함되어 있습니다. "마스크 '설계 의 정확도 와 해상도 는" 패터닝' 의 질 에 직접적 인 영향 을 미친다. 마지막으로, 로봇 제어 에셋 (robotic control asset) 은 스텝 모터 (stepper motor) 와 초점 및 정렬 어셈블리의 움직임을 제어하여 모델이 예측 가능하고 일관성 있게 작동되도록 제어합니다. 장비는 다양한 피드백 (feedback) 메커니즘을 통합하여 시스템의 오류 또는 이상을 감지하고 자동으로 응답하여 정상 작동에서 벗어난 부분을 수정합니다. 요약하면, FUSION Summit XT는 반도체 장치 제조에서 정확한 웨이퍼 노출을 위해 설계된 포괄적 인 장치입니다. 첨단 구성요소는 품질이 일관된 고해상도 (High-Resolution) 장치를 생산하기 위해 정확성과 신뢰성에 최적화되어 있습니다.
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