판매용 중고 AXCELIS / FUSION Summit XT #293627840

AXCELIS/FUSION Summit XT는 리소그래피 용으로 설계된 고급 노출 장비입니다. 고급 메모리 (advanced memory), 논리 집적 회로 제조 (logic integrated circuit manufacturing) 및 기타 고정밀 리소그래피 프로세스와 같은 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 시스템은 효율성과 유연성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 즉, 특정 디바이스 또는 플랫폼에 맞게 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이 장치에는 다중 채널, 최고 라인, 4kWxtal 광학 제품이 있습니다. 이를 통해 여러 파장과 편광 각도에서 고급 성능을 구현할 수 있습니다. 또한 전체 스캔 제어 (scan control) 및 고급 자동 노출 제어 (auto-exposure control) 기능을 통해 웨이퍼 횡단면 및 노출을 정확하고 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 툴은 또한 자동화된 정렬 (Alignment) 및 소스 보정 (Source Calibration) 기능을 갖추고 있으며, 자산 성능을 최적화하고 처리 시간을 늘리는 프로세스 제어 소프트웨어와 통합됩니다. FUSION Summit XT는 특허를받은 에어 베어링 스테이지 및 자동 로드 포트를 갖춘 통합 모델입니다. 즉, 매우 정밀하고 원활한 스테이지와 높은 처리량 및 반복성을 제공합니다. 이 장비는 또한 챔버 당 최대 8 개의 기판, 2 개의 활성 기판, 노출 당 최대 128 단계 및 + -15 웨이퍼 에지 바이어스를 포함하여 여러 기판 구성을 갖추고 있습니다. 따라서 단일 계층에서 다중 계층 처리 (multi-layer processing) 애플리케이션에 이르기까지 다양한 사용자 요구 사항을 효과적으로 충족할 수 있습니다. AXCELIS Summit XT 는 다양한 기능과 운영 기능을 제공하는 포괄적인 소프트웨어 패키지와 함께 제공됩니다. 여기에는 포괄적인 프로세스 제어, 시스템 유지 보수, 데이터 관리 등 다양한 보안 기능이 포함됩니다. 이 패키지의 일부로, 이 장치에는 기계의 작업을 단순화하고 능률화하는 고급 도구 (advanced tools) 가 포함되어 있습니다. 여기에는 간단한 기판 프로그래밍 및 조정, 작업 데이터에 대한 빠른 설정 및 액세스, 라인별 매핑, 자동화된 프로세스 추적 및 제어 (automated process tracking and control) 등이 포함됩니다. 전체적으로 Summit XT Advanced Exposure Tool은 프로토타이핑 및 생산 처리 요구를 모두 충족하는 탁월한 성능과 기능을 제공합니다. 고급 옵틱 (Optic) 과 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 를 통해 자산을 원하는 최종 용도로 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 포괄적인 보안 기능을 통해 데이터를 보호하고, 사용자 프로세스를 최적화하여 효율성을 극대화할 수 있습니다.