판매용 중고 AXCELIS / FUSION RapidCure 320PS #293625716

AXCELIS/FUSION RapidCure 320PS는 고속, 고품질 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 최고 수준의 노출 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼 (wafer) 및 제약 및 생의학 산업의 다른 구성 요소를 제조하는 데 이상적입니다. FUSION RapidCure 320PS는 350mm x 475mm 스테이지 크기로, 대용량 가공소재를 수용하여 처리량이 더 빠릅니다. 진공 호환성과 150W UV 전력의 독특한 혼합을 통해 고속, 균일 한 노출 균일성을 제공합니다. 10 발 자동 초점 장치는 노출되기 전에 웨이퍼 섹션에 빠르고 정확한 초점을 맞출 수 있습니다. 이 기계는 다양한 렌즈 (lens) 옵션을 갖추고 다양한 이미징 기술을 제공합니다. 스캔 경계에서 스티칭을 최소화하기 위해 큰 필드 렌즈 (field lens) 가 있으며, 이는 처리량과 필드 균일성을 증가시킵니다. 또한 AXCELIS RapidCure 320PS 는 레이저 정렬 도구 (옵션) 를 통해 스테이지에서 보다 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 에셋은 웨이퍼 스케일 직접, 오버레이 및 간격 노출을 포함한 여러 노출 기술을 허용합니다. 또한, 웨이퍼 취급을위한 "지능형 로봇 암 (Intelligent Robot Arm)", 단계 간 웨이퍼 운송을위한 로봇, 작동 용이성을 위해 고급 컨트롤 패널이 장착되어 있습니다. RapidCure 320PS에는 긴급 차단 옵션, 잠금 도어 액세스 등 다양한 고급 안전 기능이 있습니다. 또한 지적 재산을 보호 할 수있는 독특한 보안 모델이 있습니다. 마지막으로, 종합적인 데이터 로깅 기능을 통해 사용자는 이전 석판화 프로세스 (lithography process) 와 노출 (exposure) 을 추적할 수 있습니다. AXCELIS/FUSION RapidCure 320PS 는 매우 정확하고 효율적인 리소그래피 (lithography) 프로세스를 위해 설계된 최고급 (top-of-the-line) 노출 장비로, 반도체 웨이퍼를 제작하기 위한 신뢰할 수 있는 시스템과 제약 및 생체 의료 산업의 기타 구성 요소를 찾는 모든 사람에게 적합한 제품입니다.