판매용 중고 AXCELIS / FUSION RapidCure 320FC #9293675

AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC는 기존의 방법에 비해 활용도 및 정확성이 향상되는 고급 노출 장비입니다. 이 시스템은 단일 패스 레이저 리소그래피의 정밀 접촉 치유를 위해 설계되었습니다. 그것 은 수 "미크론 '내지 수" 밀리미터' 두께 의 광범위 한 기판 물질 에 걸쳐 접촉 하는 것 이 가능 하다. FUSION RapidCure 320FC는 표준 기판의 경우 약 30 ~ 60 분, 섬세한 기판의 경우 10 ~ 40 분의 노출 시간을 달성 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 노출 프로세스를 단순화하는 사용자 친화적 인 프로그래밍 인터페이스가 있습니다. AXCELIS RapidCure 320FC 는 강력한 레이저 기반 광 머신으로, 특정 복구 애플리케이션에 맞게 사용자 지정 파장을 사용합니다. 필드 곡률 (field curvature) 을 조정하여 웨이퍼에 대한 포커스를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한 선형 서보 모터 드라이브 툴 (Linear Servo Motor Drive Tool) 과 선형 포지셔닝 기술 (Linear Positioning Technology) 을 통해 신속하고 정확한 치유에 이 자산을 더욱 안정적으로 활용할 수 있습니다. 안전성 측면에서 RapidCure 320FC는 인간과 재산을 모두 보호하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 쉬운 접근성 가드, 비상 정지 버튼, 통합 충돌 방지 모델, 고급 열 안전 장비가 포함됩니다. 또한, 사용자는 자동화된 운영 프로세스에 시스템을 쉽게 통합할 수 있는 자동화 지원 (automation-ready) 기능을 갖추고 있습니다. AXCELIS/FUSION RapidCure 320FC는 사용자에게 다양한 이점을 제공합니다. 여기에는 오염없는 작동, 에너지 효율 및 생산성 향상이 포함됩니다. 이 장치에는 통합 된 고해상도 및 저난기류 (low-turbulence air machine) 가 있어 작업 영역 주변의 균일 한 공기 흐름과 온도를 더욱 보장합니다. 따라서 FUSION RapidCure 320FC는 생산 비용을 줄이고 품질 보증을 개선하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 AXCELIS RapidCure 320FC 는 고급 노출 툴로서, 섬세한 기판을 빠르고 정확하게 치료할 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스, 신뢰할 수 있는 운영, 안전 기능, 자동화 지원 기능을 통해 이 자산은 많은 리소그래피 (lithography) 프로세스 어플리케이션에서 신뢰할 수 있는 선택이 됩니다.