판매용 중고 AXCELIS / FUSION PS3 #9241297

AXCELIS/FUSION PS3은 반도체 장치 제작을 위해 사진 해설에 사용하도록 설계된 노출 장비입니다. 0.25 미크론, 직경 1 인치까지 작은 기능을 노출 할 수 있습니다. 융합 된 FUSION PS3 시스템은 컴퓨터의 작동을 제어하는 강력한 호스트 컴퓨터와 UltraViolet (UV) 광원 및 정밀 단계로 구성됩니다. 노출 장치의 광원은 UV 빛을 방출하는 아크 램프입니다. 이 기계는 고속 스캐닝 (high-speed scanning), 광원의 강도를 측정하기위한 정확한 UV 센서, 이동식 (movable) 단계의 위치를 정확하게 제어하여 마스크의 정확한 정렬 및 노출되는 웨이퍼를 제공합니다. 이 도구의 스캔 속도는 사이클당 최대 30ms, Z 스테퍼 정확도는 0.3 미크론입니다. AXCELIS PS 3 의 기능 집합을 사용하면 반도체 디바이스를 빠르고 정확하게 제조할 수 있습니다. 통합 (Integrated) 단계의 포지셔닝, 다양한 운영 모드를 통해 사용자는 높은 처리량을 유지하면서 기능 충실도 (Feature Fidelity) 를 유지하는 데 필요한 정확한 매개변수로 전화를 걸 수 있습니다. 노출 자산 (Exposure Asset) 은 내부 품질 제어 모델을 통해 웨이퍼 (Wafer) 로부터의 피드백 (Feedback) 을 통해 전체 제조 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이 장비는 2 개 이상의 다른 마스크로 노출되는 웨이퍼 (wafer) 와 같은 다양한 고유 프로세스를 자동화할 수 있습니다. AXCELIS/FUSION PS 3 노출 시스템은 반도체 장치 제조에서 다양한 포토 리토 그래피 (photolithography) 프로세스에 사용하도록 설계되었습니다. 강력한 호스트 컴퓨터는 전체 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 반면, 고속 스캐닝, 정확한 UV 센서, 초고속 스테이지 포지셔너는 빠르고 정확한 장치 제조를 지원합니다.