판매용 중고 AXCELIS / FUSION PS3 #9241236

AXCELIS/FUSION PS3는 고급 마스크 제작 및 리소그래피 패턴화를 위해 설계된 최첨단 노출 장비입니다. 이 시스템은 고정밀 옵틱, 완벽한 이미징 장치, 고급 소프트웨어 제어 (Software Control) 를 결합하여 매우 정밀한 고해상도 결과를 제공합니다. FUSION PS3는 광대역 아크 램프 (Ark Lamp) 와 비구면 초보라 아이라인 렌즈 (Aspheric Ultra-Violet I-Line Lens) 로 구성된 통합 광학 도구를 활용하여 정밀 이미징 결과를 제공하는 고급 광학 이미징 머신입니다. 고해상도 광학 (Optic) 과 소프트웨어 제어 (Software Control) 의 조합으로 자산은 패턴을 웨이퍼로 정확하게 정의 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 자동화된 웨이퍼 정렬 장비 (wafer alignment equipment) 를 갖추고 있어 웨이퍼의 자동 정렬 및 등록과 정확한 패턴 배치가 가능합니다. AXCELIS PS 3 은 고급 소프트웨어 제어 방법을 사용하여 운영 중 속도와 정확도를 최적화합니다. 자동화된 웨이퍼 정렬 (automated wafer alignment) 기능은 고급 소프트웨어 패키지에 의해 관리되며, 이를 통해 프로세스의 각 단계에서 컴포넌트의 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 또한, 시스템은 초정밀 패턴 배치 및 초점 제어를 위한 즉석 조정이 가능합니다. 또한 이 소프트웨어를 통해 운영자는 장치의 이미징 (imaging) 기능을 최대한 활용하여 처리량을 최적화하고 수율을 극대화할 수 있습니다. PS3 기계에는 고급 스캐너 도구가 포함되어 있으며, 이 도구는 정밀 XY 스테이지와 전동식 Z축 스캐너헤드를 결합합니다. 이 모션 스테이지 (motion stage) 와 고급 이미징 에셋 (advanced imaging asset) 의 조합은 매우 정밀한 성능과 정확성을 제공합니다. 이 모델은 또한 이미징 성능 및 온보드 스캔 진단 (on-board scan diagnostics) 에 대한 피드백을 제공하여 최적의 설정과 매개변수를 확인합니다. 또한 AXCELIS PS3 는 강력한 수준의 검사 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 이미지 비교, 결함 분석, 오버레이 성능 및 스펙트럼 응답 분석이 포함됩니다. 이를 통해 장비는 일관된 수익률과 안정적인 프로세스 제어를 제공 할 수 있습니다. PS 3은 뛰어난 이미징 기능, 안정성, 프로세스 제어 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 노출 시스템입니다. 고급 옵틱, 이미징 시스템, 소프트웨어 제어 (Software Control) 측정치를 활용하면 차세대 마스크 제작 및 리소그래피 패턴화에 적합합니다. AXCELIS/FUSION PS 3는 정밀 옵틱, 자동 웨이퍼 정렬 장치, 전동 스캐닝 헤드, 초정밀 이미징 기능을 통해 마스크 제작 및 리소그래피에 필요한 성능과 정확성을 제공합니다.