판매용 중고 AXCELIS / FUSION PS3 #9240662

AXCELIS/FUSION PS3는 업계 표준 석판 노출 기능을 제공하도록 설계된 노출 장비입니다. 이 시스템은 FUSION 플랫폼의 후속 제품으로, 몇 가지 중요한 업그레이드 및 개선 사항을 제공합니다. 이 장치는 최첨단 레이저 스캐닝 (scanning) 기술을 활용하여 뛰어난 해상도와 매우 단단하고 반복 가능한 패턴을 제공합니다. 4 미크론에서 10 미크론까지 조정 가능한 기능 크기가 있습니다. 또한 최대 2000 와트의 출력 전력을 갖춘 고출력 레이저 (HPA) 를 갖추고 있어 더 빠른 노출과 더 높은 처리량을 제공합니다. 이 기계 에는 크고, 훌륭 하고, 기계적 인 다리 가 있어서, 폭넓은 노출장, 최대 12 "인치 '를 덮을 수 있다. 이 브리지에는 BGA, LGA 및 특수 마스크를 포함한 석판 마스크에 대한 다양한 조정 가능한 홀더가 제공됩니다. 이 도구에는 더 큰 기판을 수용 할 수있는 여러 가지 뚜껑과 크기가 있습니다. FUSION PS3 에셋은 향상된 치수 정확도 및 최소 진동에 중점을 둔 고급 노즐 디자인을 특징으로합니다. 이는 보다 우수한 기판 패턴화 (substrate patterning) 정확도를 보장하는 반면, 낮은 소음 수준으로 더 안전한 환경을 제공합니다. 또한, 이 모델은 집중 빔, 반사 (reflective) 및 오버레이 (overlay) 옵션을 포함하여 다양한 노출 옵션을 제공합니다. 이 다양성 (variety) 을 통해 사용자는 노출 요구를 정확하게 충족할 수 있으며, 속도와 처리량도 향상됩니다. 마지막으로, 이 장비에는 다양한 소프트웨어 (software) 툴이 함께 제공되어 기능을 극대화합니다. 번들 (Bundled) 소프트웨어는 설계 데이터와 함께 투영 일치 (Projection Match) 를 수행하는 동안 패턴 결함을 식별하고 제거할 수 있는 분석 기능을 제공합니다. 기판 패턴의 품질을 보장하는 자동 결함 인식 (Automatic Defect Recognition) 기능도 갖추고 있어, 비용이 많이 드는 오류의 위험을 줄이고 재작업을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 AXCELIS PS 3는 현대적인 석판 노출 요구를 위해 설계된 강력하고 안정적인 시스템입니다. 이 장치는 고급 패키징, 하이 핀 카운트 (High Pin-Count) 장치 제작 및 생의학 장치 제조와 같은 프로세스에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.