판매용 중고 AXCELIS / FUSION PS3 #9240661

AXCELIS/FUSION PS3는 제조업체가 인쇄 회로 기판, 평면 패널 디스플레이, 바이오 센서와 같은 고급 사진/인쇄 장치를 생산할 수 있도록 지원하는 노출 장비입니다. FUSION PS3는 IC (Integrated Circuit) 칩 개발을 위해 고품질 패턴을 제공하는 최첨단 사진 분석 시스템입니다. 고급 광학, 기계, 전자 하드웨어와 더불어 패터닝 및 도량형을위한 정교한 소프트웨어 툴을 결합합니다. 코어에서 AXCELIS PS 3은 진정한 193nm, 13cm 직경의 ArF 리소그래피 레이저로 구동되는 유심 (Eucentric) 지점이있는 상단 및 하단 대면적 노출 장치를 갖추고 있습니다. 이것은 초점과 해상도의 뛰어난 심도, 상단 및 하단 마스크 플레이트 핸들러를 제공하며, 초당 19.75 인치 x 19.75 인치 형식과 스캐닝 속도 (초당 최대 40 인치) 와 더 높은 처리량 (시간당 10 웨이퍼) 을 제공합니다. 제조 주기 감소. AXCELIS/FUSION PS 3은 또한 기판 동작 제어 및 이미지 초점 조정 시스템을 갖추고 있으므로 노출을 정확하고 정확하게 달성 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 고해상도, 고해상도, 뛰어난 오버레이 정확도로 고도로 통합된 IC를 패턴화할 수 있습니다. 최첨단 IC 제품을 개발하기 위해 진정한 양극화 (true polarization), 가변 노출 (variable exposure) 기능 등 첨단 광학 기능을 활용할 수 있다. 또한, FUSION PS 3 (FUSION PS 3) 은 정확한 리소그래피, 낮은 노출에서도 정확한 패턴화 프로세스 제어를 제공하며, 사용자가 복잡한 패턴과 정확한 결과를 빠르게 프로그래밍하고 처리 할 수있는 강력한 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 사전 (pre-exposure) 및 사후 (post-exposure) 정렬을 포함한 도량형 도구도 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, PS 3은 공구의 정확한 작동을 보장하는 향상된 환경 제어 기계 (Enhanced Environmental Control Machine) 를 제공하며, 대기 오염 물질에 대한 영향이 적고 전력 효율이 향상되었습니다. 이 통합 환경 관리에는 전력 소비를 줄이는 에너지 절약 모드 (Energy Saver Mode) 와 유해 배출량을 줄일 수있는 저전력 배기 (Low General Power Exhaust) 버튼이 포함됩니다. AXCELIS PS3 는 강력하고 신뢰할 수 있는 포토리토그래피 (photolithography) 자산으로, 미래의 IC 디바이스를 생산할 수 있는 고급 노출 기능을 제공합니다. 고급 하드웨어와 소프트웨어를 결합하여 정확한 패턴화 (Patterning) 및 도량형 (Metrology) 기능을 제공하며 처리량 및 환경 제어 기능이 향상되었습니다.