판매용 중고 AXCELIS / FUSION PS3 #9230281

AXCELIS/FUSION PS3 는 반도체 웨이퍼 (Wafer), 집적 회로 (Integrated Circuit) 와 같은 첨단 구성 요소의 제조 및 제조에 사용되는 첨단, 고성능, 비용 효율적인 노출 장비입니다. 이 시스템은 고급 기술 제조 (Advanced Technology Manufacturing) 를 지원하며 수 세기 동안 광학, 금속 및 정밀 기계 설계 실습을 통해 최첨단 성능을 제공합니다. FUSION PS3은 광원, 레티클 스테이지, 렌즈, 카메라, 마스킹 및 패턴 스티치를 포함한 일련의 구성 요소로 구성됩니다. 파장 을 365 "나노미터 '내지 436" 나노미터' 까지 내뿜는 광원 즉 "아르곤 '" 레이저' 는 조종 된 "패턴 '을 망막 단계 에 투영 하는 데 사용 된다. 레티클 (reticle) 은 정의된 패턴을 웨이퍼에 노출시키는 데 사용되는 마스크입니다. "레티클 '은 진공" 프레임' 에 담겨 있어서 무늬 가 무늬 가 되어 있는 기판 에 비하여 움직 이지 않는다. "렌즈 '는" 레이저' 로부터 발광 되는 빛 을 포착 하여 "레티클 '단계 로 향하게 한다. 이 "렌즈 '는 전형적 으로 융합 된" 실리카' 로 만들어졌으며 "패턴 '이 정밀 함 으로 형성 되도록 평평한 시야 를 제공 하도록 설계 되었다. 카메라는 렌즈와 레티클을 검사하는 데 사용되며, 마스킹 장치 (masking unit) 는 모든 프로세스 매개변수를 충족시킵니다. 패턴 스티칭 (pattern stitching) 은 웨이퍼를 가로지르는 각 패턴의 위치를 정확하게 결정하는 방법을 제공합니다. 이 시스템에는 AXCELIS PS 3 의 구성 요소 외에, 다양한 정교한 알고리즘을 사용하여 프로세스를 최적화하는 예측 컨트롤러 (Predictive Controller) 가 포함되어 있습니다. 이 컨트롤러는 공구의 성능을 지속적으로 모니터링하고, 가장 좋은 결과를 얻기 위해 매개변수를 조정합니다. 또한, 에셋에는 프로세스 오류 시 모델을 종료하는 안전 (Safety) 기능이 내장되어 있습니다. AXCELIS PS3 는 매우 정확하고 반복 가능한 다양한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장비는 리소그래피, 에칭, 사진 촬영, 플라즈마 향상 등 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 또한 AXCELIS/FUSION PS 3은 웨이퍼 매핑, 결함 검사 및 유전체 테스트를 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 고속 패턴 인식 엔진 (High-Speed Pattern Recognition Engine), 자동 데이터 아카이빙이 포함된 다중 레벨 데이터 로거 (Multilvel Data Logger) 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이 장치에는 노출 과정을 제어, 모니터링, 분석하는 소프트웨어 도구 모음도 포함되어 있습니다. 전반적으로, PS 3는 신뢰할 수 있고 강력한 노출 머신으로, 다양한 산업과 어플리케이션에서 사용할 수 있습니다. 이 제품은 정확성, 성능, 비용 효율성을 고려하여 고급 프로세스 제어 (process control) 및 정확성을 필요로 하는 프리미엄 엔터프라이즈 애플리케이션을 위한 현명한 선택입니다.