판매용 중고 AXCELIS / FUSION PS3 #9228099

AXCELIS/FUSION PS3는 반도체 산업의 사진 분석 프로세스에 사용되는 고급 노출 장비입니다. FUSION PS3 시스템은 더 높은 해상도, 더 나은 재현성, 더 빠른 처리량을 제공하여 기존의 DUV 사진 분석 기능을 향상시키는 최첨단 장치입니다. AXCELIS PS 3 는 사진 (Photolithography) 프로세스의 최종 결과를 향상시키기 위해 설계된 포괄적인 기능을 갖추고 있습니다. 이 머신은 다양한 도구 구성을 사용하여 정밀한 레이어 간 정렬 및 다중 필드 (multi-field) 유형의 웨이퍼 스캐닝 기능을 사용할 수 있습니다. PS3의 고속, 고해상도 스캔 및 출력 기능으로 최대 500 x 500 mm 필드 크기의 웨이퍼가 생성될 수 있으며, 해상도는 0.17m입니다. 또한, AXCELIS PS3 은 최첨단 프로세스에 대해 광범위한 민감한 wafer 기판을 지원합니다. 이 도구의 디지털 기판 기울기 (tilt) 보상 기능은 빠르고 정확한 웨이퍼 이미징을 가능하게 하는 반면, 고급 웨이퍼 추적 (wafer tracking) 및 노출 제어 시스템은 일관된 웨이퍼 정렬을 보장합니다. AXCELIS/FUSION PS 3의 고급 처리 시스템은 재료, 저항, 스캔 속도, 샷 감소 및 etch 향상을 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 공구 선택 및 하드웨어/소프트웨어 조합은 프로세스 요구 사항에 따라 조정할 수 있습니다. FUSION PS 3의 웨이퍼 로딩 자산은 향상된 유연성을 제공하여 높은 처리량을 지원합니다. 또한, 다양한 고정밀 Optic 패키지를 통해 고객에게 최고의 처리 정확도를 제공합니다. PS 3 모델은 고객 프로세스의 연속성을 보장하기 위해 포괄적인 서비스/지원 (Service/Support) 프로그램을 제공합니다. 사전 예방 유지 보수, 장비 수리, 예비 부품 배송, 기술 교육이 모두 전체 서비스 패키지의 일부입니다. 또한 FUSION은 고객 문의에 대한 신속한 해결을 제공합니다. 전반적으로 AXCELIS/FUSION PS3 Advanced Exposure System은 사진 분석 처리 응용 프로그램에 적합한 훌륭한 도구입니다. 최고 성능의 기능과 최신 기술을 결합한 FUSION PS3 는 가장 강력하고 안정적인 사진 (photolithography) 솔루션을 제공합니다.