판매용 중고 AXCELIS / FUSION PS3 #293742986

AXCELIS/FUSION PS3 노출 장비는 고급 반도체 처리를 위해 설계된 고급 사진 분석 기계입니다. 신뢰할 수있는 이온 소스를 사용하여 FUSION PS3는 다양한 기판 재료 및 설계 형상에서 장치 기능을 매우 정확하고 일관되게 노출시킵니다. 포토리스트 (photoresist) 및 비사진주의 (non-photoresist) 프로세스를 모두 지원하여이 시스템은 전통적인 석판화 프로세스에 비해 향상된 기능 해상도와 일관성을 제공합니다. 이 플랫폼에는 10 미크론 해상도의 선형 스캐너가 있으며, 최대 속도는 2000 라인/초입니다. 대용량 뷰 (field of view) 와 빠른 스캐닝 속도 (fast scanning speed) 를 통해 뛰어난 기능 세부 사항을 생성하면서 신속한 장치 패턴 전송이 가능합니다. 또한 AXCELIS PS 3 는 유연성이 뛰어나고 구성 가능한 플랫폼 설계를 통해 향상된 처리량을 제공합니다. 로봇 카세트 로더는 다중 장치 생산을 최적화하는 반면, 자동 노출 제어 장치 (Exposure Control Unit) 는 노출 시간을 적절히 조정하여 지속적인 반복성과 높은 균일성을 보장합니다. PS3의 정밀 광학 운송 머신 (precision optical transport machine) 은 전체 기판 표면에 걸쳐 정확한 초점을 맞춰 높은 종횡비와 향상된 균일성을 제공합니다. [활성 제어 도구] 를 사용하면 모든 광 정렬 및 왜곡 문제를 완화하여 처리 결과를 매우 정확하게 확인할 수 있습니다. 또한 이 플랫폼의 고감도, 고정밀도 포토마스크 정렬 및 측정 기술을 통해 복잡한 장치 기능을 처리할 수 있습니다. 이 자산은 10nm의 효과적인 정렬 허용치 (Alignment Tolerance), 높은 신호 대 잡음 비율 (Signal-to-Noise Ratio) 및 낮은 하위 해상도 정렬 신호 (Sub-Resolution Alignment Signal) 를 통해 분 피쳐 정보를 정확하게 전송합니다. AXCELIS PS3 는 전체적으로 대용량 및 고급 반도체 생산을 위한 고급 디바이스 처리 기능을 제공합니다. 이 모델은 작은 기능과 패턴을 정확하게 인쇄할 수 있는 기능으로, 높은 정밀도 (Precision) 와 반복 (Repeatability) 을 보장하여 높은 생산량을 제공합니다. 유연성이 뛰어나고, 구성성이 뛰어나고, 정확하며, 고급 디바이스 처리를 위한 강력한 플랫폼입니다.