판매용 중고 AXCELIS / FUSION PCU #293635910

AXCELIS/FUSION PCU는 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 자동 노출 장비입니다. 첨단 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 장치를 생산할 수 있는 다양한 기능과 사양을 제공합니다. FUSION PCU 는 고급 컨트롤러 장치 (advanced controller unit) 에 의해 제어되며, 이 장치는 다른 사용자 프로필에 따라 시스템의 프로세스를 제어할 수 있습니다. 이 컨트롤러는 기판의 크기와 모양 (크기, 모양, 노출 시간) 에 이르기까지 기판의 각 배치에 대해 모든 매개변수가 올바르게 설정되어 있는지 확인합니다. 또한 컨트롤러는 다양한 사용자 기본 설정 (매개 변수 간 노출 시간을 쉽게 조정할 수 있는 기능 포함) 을 지원합니다. 이 장치에는 고급 옵티컬 센서 (optical sensor) 와 전자식 드라이브 머신 (electronic drive machine) 이 있어 빔 아래의 웨이퍼 위치가 포토 마스크 (photomask) 의 투영 된 점 패턴에 맞춰져 있습니다. 이 기능은 노출 프로세스의 정확성을 높이고 제조 오류 (fabrication error) 발생을 줄이는 데 도움이 됩니다. AXCELIS PCU는 고속 셔터를 특징으로하여 트리거시 자외선 빔을 트리거합니다. 이 빛은 고출력 수은-아르곤 램프 (mercury-argon lamps) 에 의해 생성되며, 에너지 농도 원리에 의해 더욱 증폭됩니다. 이렇게 하면 공구가 최대 1 미크론 또는 더 세밀하게 임의의 크기의 사각형 노출 필드를 빠르고 정확하게 배치할 수 있습니다. PCU 는 표준 22 필드 포토 마스크 (photomask) 또는 고급 200 필드 포토 마스크 (photomask) 를 사용하여 최대 8 개의 노출 필드를 투사하여 고객에게 거의 무제한의 유연성을 보장합니다. 이는 노출 시간이 단축되고, 노출 오류로 인한 스크랩/다운타임이 줄어들기 때문에 반도체 생산 프로세스의 효율성을 높일 수 있게 해 줍니다 (영문). AXCELIS/FUSION PCU 는 강력한 성능 외에도 편리하게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 초보자 (초보자) 들도 '노출 시간', '필드 크기' 와 같은 다양한 노출 기준을 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 고급 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하면 발생할 수 있는 모든 노출 오류를 쉽게 해결할 수 있습니다. 마지막으로, FUSION PCU는 고품질 재료로 만들어졌으며, 수술에 의해 생성 된 온도와 진동을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 또한 대부분의 기존 자동화 (Automation) 기술과 호환되도록 설계되어 있어 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. AXCELIS PCU 는 안정적이고 효율적인 노출 모델을 찾는 고객에게 이상적인 선택입니다.