판매용 중고 AXCELIS / FUSION Microlite #138918

AXCELIS / FUSION Microlite
ID: 138918
웨이퍼 크기: 5"
Exposure / Curing system, 5".
AXCELIS/FUSION Microlite는 반도체 집적 회로, LSI/VLSI 장치, MEMS (Microelectromechanical Systems), 인쇄 회로 보드 및 기타 관련 장치를 정확하게 패턴화하는 데 사용되는 노출 장비입니다. 이 시스템은 비용 (Cost) 과 공간 (Space) 효율을 모두 유지하면서 가장 까다로운 부품을 구성하는 데 필요한 중요한 기능을 제공하도록 설계되었습니다. FUSION Microlite의 컴팩트 한 디자인, 고급 기능 및 우수한 결과는 탁월한 성능에 대한 증거입니다. AXCELIS Microlite 장치에는 고속 음극선 튜브 (cathode-ray tube) 가있는 통합 된 저전압 방사선 소스가 포함되어 있으며, 이는 작업 표면에 매우 균일하고 균일 한 빛을 제공합니다. 조명은 조절 가능한 고해상도의 1-4Kw/h 전력 범위로 생산됩니다. 고정된 백라이트 기능을 사용하면 조명되는 전체 서피스에 대한 정밀도를 유지할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 최적의 패턴화 (patterning) 및 수차 기능을 제공하는 높은 제어 가능한 광도, 각도 및 확산 특성으로 설계되었습니다. 다른 여러 통합 기능은 Microlite의 성능을 향상시킵니다. 고급 컴퓨터 제어 프로그램은 공구 연산자를 친화적으로 만들고, 사용자 정의 패턴과 설계를 허용합니다. 자동화된 경전원 제어 (Light Power Control) 와 내장된 완화 자산 (Mitigation Asset) 을 통해 모델의 성능과 수명이 더욱 최적화됩니다. 통합 냉각 장비는 사용량 전반에 걸쳐 일관된 열 성능을 보장합니다. AXCELIS/FUSION Microlite의 전동 선형 축은 매우 정확하고 정밀도 높은 노출을 제공합니다. 통일된 동작 기능을 통해 속도 제어 (Speed Control) 뿐만 아니라 정확한 반복성 (Repeatability) 이 가능하며 다양한 프로그래밍 가능한 패턴 별 노출 사이를 빠르게 전환할 수 있습니다. 또한, 동작의 매끄러움은 가장 복잡한 패턴조차도 일관되고 정확한 결과를 초래합니다. FUSION Microlite 시스템은 최고의 경제성과 기술적 성능을 제공합니다. 첨단 기능 (advanced features) 과 긴밀하게 통합된 성능 덕분에 마이크로일렉트로닉 업계에서 매우 효과적인 툴이 되었습니다. 탁월한 성능과 비용 효율성을 통해 마이크로일렉트로닉스 (Microelectronics) 설계 또는 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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