판매용 중고 AXCELIS / FUSION Microlite 200 PCU #9095471

AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU는 반도체 장치의 조작 및 제조를 촉진하기 위해 설계된 정교한 노출 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기판 재료를 가진 여러 레티클을 지원하는 커스터마이징 가능한 레티클 스테이지 (reticle stage) 를 사용하며, 위치 지정 및 정렬을 위해 반복 가능한 성능을 제공합니다. 검사 (scan) 컨트롤은 저소음 작동에 최적화되어 다양한 스캔 속도 (scan rate) 로 작동할 수 있습니다. FUSION Microlite 200 PCU는 듀얼 빔 정렬을 제공하여 정렬 중 높은 수준의 정확도를 제공하고 정렬 시간을 줄입니다. 이 장치의 주요 특징으로는 정확한 수치 조리개 조정, 초점 및 포지셔닝을위한 스테퍼 모터 (stepper motor) 및 기어 헤드 모터 (gear head motor), 스캔 속도 및 광학 안정화의 동적 최적화 등이 있습니다. 포토 마스크 정렬은 실시간 포커싱 머신 (focusing machine) 에 의해 구동되며, 컴퓨터로 제어되는 서보 구동 레티클 스테이지가 내장되어 있습니다. 두 개의 독립 광 엔진 (Optical Engine) 을 사용하여 정렬 과정에서 높은 정확도와 정밀도를 제공합니다. 이 도구는 초당 1000 사이클 이상의 스캔 속도 (scan speed) 에서도 피쳐를 정확하게 등록 할 수 있습니다. Photomask 교환기 (Photomask Changer) 는 완전히 자동화된 자산으로, 서로 다른 photomask 세트를 빠르게 인덱싱하고 전환할 수 있습니다. AXCELIS Microlite 200 PCU에는 4 개의 센서 헤드가 장착 된 MPS (Multi-Position Fringe Sensor) 가 있습니다. 이렇게 하면 레티클 (reticle) 을 오버레이 격자 (overlay grid) 패턴으로 미세 정렬할 수 있도록 하여 정렬 프로세스에 정밀도 (precision) 레벨이 추가됩니다. 또한 여러 기능을 동시에 정렬할 수 있게 되어 처리량 (throughput) 과 생산성 (productivity) 이 더욱 향상됩니다. RSU (Reticle Selection Unit) 는 정확하고 소음이 적은 레티클 정렬을 제공하며 스테퍼 모터 및 기어 헤드 모터는 정확한 포커싱 및 위치를 제공합니다. 또한 AXCESMicrolite 200 PCU 는 효과적인 냉각 솔루션을 제공하며, 이 솔루션은 다양한 기판 및 재료를 처리할 수 있습니다. 원격 모니터링 (Remote Monitor) 장비도 제공되므로 수작업 없이 데이터를 효율적으로 수집할 수 있습니다. 또한 이 시스템을 사용하면 여러 모듈을 쉽게 설치할 수 있는 빠른 설정 (Quick Setup) 을 사용할 수 있습니다. 결국, AXCELIS/FUSION Microlite 200 PCU는 반도체 제작 프로세스를 보다 효율적이고 정확하게 만들 수 있도록 설계된 다양한 기능을 제공하는 고급 노출 장치입니다. 이 기계는 이중 빔 정렬, 정확한 수치 조리개 조정, 정확한 정렬을위한 MPS 센서 및 오버레이 그리드 패턴을 세밀하고 정확하게 정렬하는 MPS (Multi-Position Fringe Sensor) 를 제공합니다. 이 도구는 또한 다른 기판 및 재료를 처리하기위한 효과적인 냉각 솔루션을 갖추고 있습니다. 자산에는 생산성 향상, 조정 시간 단축, 효율적인 데이터 수집 (Data Collection) 등 다양한 자동화 기능이 장착되어 있습니다.